平面加工装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松浦憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-195943
公開番号（公開出願番号）：特開2001-018162
出願日： 1999年07月09日
公開日（公表日）： 2001年01月23日
要約：

【要約】【課題】砥石又は研磨布のドレッシングを自動で行うことができる平面加工装置を提供する。【解決手段】平面加工装置10にはドレッシングボード29が収納されたストッカ27が備えられている。ドレッシングボード29は、搬送用ロボット28によってストッカ27から取り出され、チャックテーブル48にセットされる。そして、ドレッシングが終了したドレッシングボード29は、洗浄、乾燥後、搬送用ロボット28によってストッカ27に回収される。

請求項（抜粋）：

ウェーハの一方面を吸着保持するテーブルと、砥石又は研磨布とを相対的に近づけて、前記ウェーハの他方面に前記砥石又は研磨布を押し当てるとともに、前記テーブルと前記砥石又は研磨布とを回転させて前記ウェーハの他方面を加工する平面加工装置において、前記テーブルに吸着保持可能であって、前記砥石又は研磨布が押し当てられることにより、前記砥石又は研磨布をドレッシングするドレッシングボードと、前記ドレッシングボードが格納されるストッカと、前記ストッカから前記ドレッシングボードを取り出して前記テーブル上に搬送するとともに、前記テーブルから前記ドレッシングボードを回収して前記ストッカに収納する搬送手段と、前記搬送手段を制御するとともに、前記砥石又は研磨布のドレッシングを実施する制御手段と、を備えたことを特徴とする平面加工装置。

IPC (3件)：

B24B 37/00 , B24B 53/00 , H01L 21/304 622

FI (3件)：

B24B 37/00 A , B24B 53/00 A , H01L 21/304 622 M

Fターム (10件)：

3C047AA02 , 3C047AA34 , 3C058AA07 , 3C058AA16 , 3C058AA18 , 3C058AB03 , 3C058AB08 , 3C058BA09 , 3C058CB03 , 3C058DA17

引用特許：

審査官引用 (5件)

精密研磨装置及び方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-069833 出願人：キヤノン株式会社
研磨装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-245785 出願人：不二越機械工業株式会社
特開平1-310855

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