特許
J-GLOBAL ID：200903039345079660
電子ビーム照射装置の静電偏向器
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石田 敬 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-311945
公開番号（公開出願番号）：特開2000-138036
出願日： 1998年11月02日
公開日（公表日）： 2000年05月16日
要約：
【要約】【課題】 電子ビーム照射装置の静電偏向器による偏向位置のずれを低減したより高精度の静電偏向器の実現。【解決手段】 絶縁材料で作られた筒状の保持部材12と、保持部材の内側に互いに分離して固定される少なくとも表面の一部に金属膜を成長させた複数の電極11(Ei ) とを備える電子ビーム照射装置の静電偏向器において、保持部材はくさび状の固定穴を備え、複数の電極は保持部材に配置した状態で固定穴に接合金属を流して硬化することにより保持部材12に固定され、複数の電極11は複数の電極が保持部材に固定された状態では保持部材の円筒軸からは保持部材12の内壁面が見えない形状をしており、複数の電極E i は複数の電極を保持部材12に固定後、複数の電極の内壁面に蒸着により形成された金属薄膜を備える。
請求項（抜粋）：
絶縁材料で作られた筒状の保持部材と、該保持部材の内側に互いに分離して固定される少なくとも表面の一部に金属膜を成長させた複数の電極とを備える電子ビーム照射装置の静電偏向器において、前記保持部材は、前記複数の電極がそれぞれ固定される部分に対応して設けられた、外周表面の方が内周表面より径の大きなくさび状の固定穴を備え、前記複数の電極は、前記保持部材に配置した状態で前記固定穴に溶融した接合金属を流して該接合金属が前記複数の電極の金属膜に密着して硬化することにより、前記保持部材に固定され、前記複数の電極は、該複数の電極が前記保持部材に固定された状態では、前記保持部材の円筒軸からは前記保持部材の内壁面が見えない形状をしており、前記複数の電極は、前記複数の電極を前記保持部材に固定後、前記複数の電極の内壁面に蒸着により形成された金属薄膜を備えることを特徴とする電子ビーム照射装置の静電偏向器。
IPC (4件)：
H01J 37/147
, G03F 7/20 504
, H01J 9/14
, H01L 21/027
H01J 37/147 C
, H01J 37/147 B
, G03F 7/20 504
, H01J 9/14 A
, H01L 21/30 541 B
2H097BA10
, 2H097BB03
, 2H097CA16
, 2H097LA10
, 5C033FF01
, 5C033FF10
, 5C033GG02
, 5F056AA01
, 5F056EA06
