特許

J-GLOBAL ID：200903039352554820

基板搬送装置および基板の偏心補正方法

発明者： 大関 利雄
出願人/特許権者： 株式会社日立ハイテクコントロールシステムズ
代理人 (2件)： 磯野 道造 ,  多田 悦夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-031238
公開番号（公開出願番号）：特開2009-194046
出願日： 2008年02月13日
公開日（公表日）： 2009年08月27日
要約：

【課題】ウェーハの偏心を解消し、搬送ロボットのハンドと搬送先の基板載置台との干渉を防止する。【解決手段】プリアライメント装置13は、ウェーハ31を載置した回転載置部131を回転させたとき、ラインセンサ132から得られるウェーハ31のエッジ位置情報に基づき、ウェーハ31の偏心ベクトルを検出し、さらに、回転載置部131をその偏心ベクトルの方向がハンド141のプリアライメント装置13に対する挿抜方向と同じになるまで回転させる。搬送ロボット14は、そのウェーハ31をハンド141で保持して、いったん、プリアライメント装置13から引き抜き、再度、プリアライメント装置13へ挿入して、回転載置部131へ載置する。このとき、搬送ロボット14は、ハンド141を前に挿入したときよりも、偏心ベクトルの大きさの分だけ、前進または後退した位置まで挿入する。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

基板をハンドに保持して搬送する搬送ロボットと、 前記搬送ロボットにより搬送された基板を載置・回転させる回転載置部および前記基板の偏心ベクトルを検出する偏心検出部を有するアライメント装置と、 前記搬送ロボットおよび前記アライメント装置を制御する制御装置と、 を備えてなる基板搬送装置であって、 前記制御装置は、 前記搬送ロボットに、前記ハンドを前記アライメント装置の所定の位置まで挿入させ、前記保持した基板を前記回転載置部に載置させ、 前記アライメント装置に、前記偏心検出部により、前記載置された基板の偏心ベクトルを検出させ、その結果、検出された前記偏心ベクトルの大きさが所定の閾値よりも大きい場合には、前記回転載置部に載置された前記基板を、その基板の偏心ベクトルの方向と、前記ハンドが前記アライメント装置に対し挿抜される方向と、が略同じになるように回転させ、 前記搬送ロボットに、前記回転載置部に載置された前記基板を前記ハンドに保持させて、前記アライメント装置から前記ハンドを抜き出させた後、前記ハンドを、前記アライメント装置の中の、前回挿入したときの位置よりも前記偏心ベクトルの大きさの分だけ前進または後退した位置まで、再度、挿入させ、前記ハンドに保持した前記基板を前記回転載置部に載置させること を特徴とする基板搬送装置。

IPC (2件)：

H01L 21/677 ,  H01L 21/68

FI (2件)：

H01L21/68 A ,  H01L21/68 F

Fターム (35件)：

5F031CA02 ,  5F031DA08 ,  5F031EA11 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031FA15 ,  5F031GA08 ,  5F031GA10 ,  5F031GA12 ,  5F031GA45 ,  5F031GA47 ,  5F031GA48 ,  5F031GA49 ,  5F031GA57 ,  5F031HA59 ,  5F031JA03 ,  5F031JA04 ,  5F031JA22 ,  5F031JA28 ,  5F031JA29 ,  5F031JA35 ,  5F031JA51 ,  5F031KA08 ,  5F031KA11 ,  5F031KA14 ,  5F031LA07 ,  5F031MA23 ,  5F031MA28 ,  5F031MA29 ,  5F031MA31 ,  5F031MA32 ,  5F031MA33 ,  5F031NA09

引用特許：

出願人引用 (1件)

• ウェハ搬送における位置補正方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-301659   出願人：アシストジャパン株式会社