特許

J-GLOBAL ID：200903039354724900

炭化タンタルのコーティング方法及びこの方法を用いて製造した単結晶製造装置

発明者： 北岡 英二 ,  花沢 龍行 ,  亀山 美知夫 ,  木藤 泰男
出願人/特許権者： 株式会社デンソー
代理人 (1件)： 伊藤 洋二 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-284035
公開番号（公開出願番号）：特開平11-116399
出願日： 1997年10月16日
公開日（公表日）： 1999年04月27日
要約：

【要約】【課題】 単結晶製造装置に備えられるルツボの内壁に、均一な炭化タンタルをコーティングする。【解決手段】 黒鉛製ルツボ10の内壁にタンタル板12を配置する。そして、タンタル板12と接触するように炭素粉末13を充填してタンタル板12を覆う。その後、黒鉛製ルツボ10を加熱してタンタル12を炭化させると、黒鉛製ルツボ10の内壁が炭化タンタル12aでコーティングされる。このように、タンタル板12と接触するように炭素粉末13を充填して、タンタル板12を炭化させると、均一な炭化タンタル12aでタンタル板12がコーティングされる。

請求項（抜粋）：

タンタル(1、12)と接触するように固体状の炭素(3、13)を配置し、該炭素(3、13)にて該タンタル(1、12)を覆う工程と、加熱処理を行って前記タンタル(1、12)の表面を炭化させることにより、該タンタル(1、12)の表面を炭化タンタル(1a、12a)でコーティングする工程と、を有することを特徴とする炭化タンタルのコーティング方法。

IPC (3件)：

C30B 29/36 ,  C04B 35/56 ,  C30B 23/00

FI (3件)：

C30B 29/36 Z ,  C30B 23/00 ,  C04B 35/56 P

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 炭化珪素単結晶の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-282223   出願人：昭和電工株式会社