特許
J-GLOBAL ID：200903081467816140
炭化珪素単結晶の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
矢口 平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-282223
公開番号（公開出願番号）：特開平11-116398
出願日： 1997年10月15日
公開日（公表日）： 1999年04月27日
要約：
【要約】【課題】 炭化珪素の昇華再結晶法によりインクルージョン、不純物元素、結晶欠陥の少ない炭化珪素単結晶を製造すること。【解決手段】 昇華再結晶法で種結晶基板上に炭化珪素単結晶を製造する際、原料の炭化珪素を収容するルツボとして内面が耐熱性金属炭化物で被覆されたものを使用する。
請求項（抜粋）：
昇華再結晶法で炭化珪素基板上に炭化珪素単結晶を製造する方法において、炭化珪素原料を収容するルツボとして内面が耐熱性金属炭化物で被覆されたルツボを使用することを特徴とする方法。
引用特許：
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