特許

J-GLOBAL ID：200903039431208511

塗布装置及びカラーフィルタの製造方法

発明者： 濱塚 康宏 ,  佐々木 聡
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-131897
公開番号（公開出願番号）：特開平10-314633
出願日： 1997年05月22日
公開日（公表日）： 1998年12月02日
要約：

【要約】【課題】カラーフィルタなど薄膜形成のための塗布装置では、塗布膜が薄膜の機能を左右するので膜厚分布や塗布むら、異物などの塗布膜欠陥の低減が要求されている。また、塗布液が非常に効果であるために消費を押さえることも要求されている。【解決手段】塗布膜厚分布を押さえる手段として、相関関係にある塗布液粘度を一定に制御するために、循環経路中に攪拌装置と粘度計を備えた調合タンクを設置する。この中で粘度計測をしながら溶剤と塗布液を調合することにより、塗布液の粘度の変動を±1〜±5%に制御しながら塗布を行う。これにより塗布液の廃液も無くせるので消費を押さえることができる。また塗布方式はバーコート方式であり、塗布バーを支持する部材の形状不良をなくし、塗布液接触部を分離する構造により塗布膜の欠陥を低減している。

請求項（抜粋）：

非連続性基板を塗布バーと押圧部材との間に水平に保持させて該基板に塗布液を塗布する装置において、前記塗布液を撹拌する攪拌装置及び塗布液の粘度を計測する粘度計を備えた調合タンクと、前記粘度計の信号を入力信号として塗布液と溶剤の供給量を制御する制御器とを具備したことを特徴とする塗布装置。

IPC (3件)：

B05C 1/02 101 ,  G02B 5/20 101 ,  G03F 7/16 501

FI (3件)：

B05C 1/02 101 ,  G02B 5/20 101 ,  G03F 7/16 501

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平4-270346
  
• 複合材料製ドクターブレード
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-069792   出願人：帝人株式会社
• レジスト塗布装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-019519   出願人：株式会社日立製作所
• 特開平4-270346