特許

J-GLOBAL ID：200903039466015660

DLC膜およびその形成方法

発明者： 松浦 尚 ,  織田 一彦 ,  後 利彦
出願人/特許権者： 住友電気工業株式会社
代理人 (6件)： 深見 久郎 ,  森田 俊雄 ,  仲村 義平 ,  堀井 豊 ,  野田 久登 ,  酒井 將行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-252705
公開番号（公開出願番号）：特開2006-071787
出願日： 2004年08月31日
公開日（公表日）： 2006年03月16日
要約：

【課題】 光学素子として機能する小型化または集積化が容易なDLC膜およびその形成方法を提供する。【解決手段】 膜の中心Oから少なくとも1つの幅方向に屈折率が連続的に変化するDLC膜。より具体的には、膜の中心Oから少なくとも1つの幅方向に屈折率が連続的に低くなり、凸レンズとしての機能を有するDLC膜。膜の中心から少なくとも1つの幅方向に前記屈折率が連続的に高くなり、凹レンズとしての機能を有するDLC膜。膜厚方向に屈折率が連続的に変化するDLC膜。また、エネルギビームの照射により、DLC膜の屈折率を、膜の中心から少なくとも1つの幅方向および膜厚方向の少なくとも1つの方向に連続的に変化させるDLC膜の形成方法。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

膜の中心から少なくとも1つの幅方向に屈折率が連続的に変化するDLC膜。

IPC (2件)：

G02B 3/00 ,  G02B 5/18

FI (2件)：

G02B3/00 B ,  G02B5/18

Fターム (6件)：

2H049AA04 ,  2H049AA14 ,  2H049AA33 ,  2H049AA44 ,  2H049AA48 ,  2H049AA66

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 特開昭54-109456号公報
  
• 屈折率分布型レンズ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-342598   出願人：日本板硝子株式会社
• 屈折率分布レンズ、レンズアレイ、及び光デバイス
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-092058   出願人：富士写真フイルム株式会社

審査官引用 (5件)

• 端部に回折光学膜を有する光ファイバとその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-363345   出願人：住友電気工業株式会社
• 回折光学素子とその形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-197606   出願人：住友電気工業株式会社
• 特開昭57-120901
  
• 特開昭59-054631
  
• 特開昭57-114101