特許

J-GLOBAL ID：200903039473702338

感放射線性樹脂組成物

発明者： 荒野 明男 ,  山元 研二
出願人/特許権者： クラリアント ジャパン 株式会社
代理人 (1件)： 鐘尾 宏紀 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-096352
公開番号（公開出願番号）：特開2000-292919
出願日： 1999年04月02日
公開日（公表日）： 2000年10月20日
要約：

【要約】【課題】感度、パターン形状、耐熱性等、フォトレジストに要求される各種特性に優れ、かつこれら諸特性をバランスよく備えた感放射線性樹脂組成物を提供する。【構成】アルカリ可溶性樹脂とキノンジアジド基を含む感光剤を含有してなる感放射線性樹脂組成物において、アルカリ可溶性樹脂がフェノールノボラック樹脂からなり、該ノボラック樹脂は薄膜蒸留法により処理されて、モノマーおよびダイマーが選択的に除去されたものからなる。薄膜蒸留処理は、処理される前のノボラック樹脂の280nmの検出器を用いたゲルパーミエイション・クロマトグラフィーにより得られたパターンの高分子領域をA1 、中分子領域をB1 、モノマー・ダイマー領域をC1 とし、処理後のノボラック樹脂のそれらを各々A2、B2 、C2 としたとき、面積比がB2 /B1 ≧0.95、C2 /(A2 +B2+C2 )≦0.060であるものが好ましい。

請求項（抜粋）：

アルカリ可溶性樹脂とキノンジアジド基を含む感光剤を含有してなる感放射線性樹脂組成物において、アルカリ可溶性樹脂が薄膜蒸留法により処理されたノボラック樹脂であることを特徴とする感放射線性樹脂組成物。

IPC (2件)：

G03F 7/023 511 ,  H01L 21/027

FI (2件)：

G03F 7/023 511 ,  H01L 21/30 502 R

Fターム (20件)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AA10 ,  2H025AB15 ,  2H025AB16 ,  2H025AB20 ,  2H025AC01 ,  2H025AC04 ,  2H025AC05 ,  2H025AC06 ,  2H025AD03 ,  2H025BE01 ,  2H025CB29 ,  2H025CB45 ,  2H025CB51 ,  2H025CB52 ,  2H025CB55 ,  2H025CB56 ,  2H025FA17

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 放射線感応組成物およびそれを用いるパターン形成方 法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-288959   出願人：東レ株式会社
• 化学増幅形レジスト用のベース樹脂およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-184850   出願人：三星電子株式会社
• 特開平2-282745