特許

J-GLOBAL ID：200903039479476070

電子ビーム物理蒸着装置

発明者： ブルース,ロバート・ウィリアム ,  エバンス,ジョン・ダグラス,シニア ,  マリコッチ,アントニオ・フランク ,  エベラルド,ヘルムト ,  リック,アルフレッド ,  バーハー,マーティン ,  レイス,ウォルフガング・エルハルト
出願人/特許権者： ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ
代理人 (1件)： 松本 研一
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-515351
公開番号（公開出願番号）：特表2003-522293
出願日： 2000年08月03日
公開日（公表日）： 2003年07月22日
要約：

【要約】【課題】物品(20)に皮膜(例えば、セラミック遮熱皮膜)を設けるための電子ビーム物理蒸着(EBPVD)装置(10)。【解決手段】EBPVD装置(10)は、通常、高温及び気圧未満の圧力で作動可能なコーティングチャンバ(12)を含んでいる。電子ビームガン(30)が、コーティングチャンバ(12)の壁内の開口(68)を通ってチャンバ(12)内で画定されたコーティング領域内のコーティング材料(26)に電子ビーム(28)を投射し、コーティング材料(26)を融解し蒸発させる。EBPVD装置(10)の作動は、開口(68)をコーティング領域から分離するように開口(68)を囲む第二のチャンバ(64)をコーティングチャンバ(12)内に含ませることによって高められる。また、第二のチャンバ(64)をコーティング領域より低い圧力に維持するための手段(66)も備わっている。その結果、電子ビームガン(30)の作動と信頼性に及ぼす悪影響を最小にするか又はなくしてコーティング領域内部で0.010mbarより高いコーティング圧力を実現することができる。

請求項（抜粋）：

高温及び大気圧未満の圧力で作動可能なコーティングチャンバ(12)と、 コーティングチャンバ(12)内のコーティング領域を画成するフード(52)と、 コーティング領域中に電子ビーム(28)を投射する電子ビームガン(30)と、 コーティングチャンバ(12)の一つの壁内にあって電子ビーム(28)がコーティングチャンバ(12)に入る際に通る開口(68)と、 コーティングチャンバ(12)内にあり、開口(68)をコーティング領域から分離するように開口(68)を囲む第二のチャンバ(64)と、 第二のチャンバ(64)をコーティング領域より低い圧力に維持するための手段(66)とを含んでなる電子ビーム物理蒸着コーティング装置(10)。

Fターム (7件)：

4K029AA02 ,  4K029BA43 ,  4K029BA50 ,  4K029BC00 ,  4K029BC10 ,  4K029CA02 ,  4K029DB22

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 特開平1-108374
  
• 特許第1089967号
  
• 蒸着薄膜形成装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-285229   出願人：ソニー株式会社
• テープ蒸着装置の電子銃取付け構造
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-233354   出願人：ソニー株式会社

審査官引用 (4件)

• 特開平1-108374
  
• 特許第1089967号
  
• 蒸着薄膜形成装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-285229   出願人：ソニー株式会社
• テープ蒸着装置の電子銃取付け構造
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-233354   出願人：ソニー株式会社