変位情報検出装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高梨幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-303611
公開番号（公開出願番号）：特開平9-126723
出願日： 1995年10月27日
公開日（公表日）： 1997年05月16日
要約：

【要約】【課題】 2つの基板間の相対的変位情報としてのアブソリュートコード信号とインクリメンタル信号を高分解能で検出することかできる変位情報検出装置を得ること。【解決手段】光源手段からの光束を第1基板に設けたインクリメンタル信号検出用の位相格子とアブソリュートコード信号用の領域に各々入射させ、このうち該位相格子からの変調光を該第1基板と対向配置し、かつ移動する第2基板に設けた格子列に入射させ、該格子列からの変調光をインクリメンタル信号用の受光素子で受光して該第1基板と該第2基板との相対的な変位情報を得ると共に、該アブソリュート信号用の領域からの光束を該第2基板に設けたアブソリュートコードトラックに入射させ、該アブソリュートコードトラックを介した光束をアブソリュートコード信号用の受光素子で受光して該第1基板と第2基板との絶対的な変位情報を得ること。

請求項（抜粋）：

光源手段からの光束を第1基板に設けたインクリメンタル信号検出用の位相格子とアブソリュートコード信号用の領域に各々入射させ、このうち該位相格子からの変調光を該第1基板と対向配置し、かつ移動する第2基板に設けた格子列に入射させ、該格子列からの変調光をインクリメンタル信号用の受光素子で受光して該第1基板と該第2基板との相対的な変位情報を得ると共に、該アブソリュート信号用の領域からの光束を該第2基板に設けたアブソリュートコードトラックに入射させ、該アブソリュートコードトラックを介した光束をアブソリュートコード信号用の受光素子で受光して該第1基板と第2基板との絶対的な変位情報を得ることを特徴とする変位情報検出装置。

IPC (3件)：

G01B 11/00 , G01D 5/36 , G01D 5/38

FI (4件)：

G01B 11/00 G , G01D 5/36 S , G01D 5/36 K , G01D 5/38 A

引用特許：

出願人引用 (4件)

特開平2-129518
特開平2-176418
特開平3-115809

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審査官引用 (4件)

特開平3-115809
特開平2-129518
特開平2-176418

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