埋込抵抗体を形成するエッチング溶液

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：板垣孝夫 , 森本義弘 , 笹原敏司 , 原田洋平
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-568671
公開番号（公開出願番号）：特表2005-517811
出願日： 2003年02月03日
公開日（公表日）： 2005年06月16日
要約：

チオ尿素が含まれる抵抗材エッチング溶液であって、ニッケルクロム合金から成る電気抵抗材料のエッチングに特に適する。ニッケル/クロムの表面積(b)に対する銅の表面積(a)の比率が比較的大きくなる場合や、エッチングの特性に細密性が必要となる場合に、前記抵抗材エッチング溶液を使用することによって、ニッケルクロム合金が迅速かつ有効にエッチングできる。

請求項（抜粋）：

ニッケルクロム合金を含む電気抵抗材料をエッチングするエッチング溶液であって、前記エッチング溶液には塩酸およびチオ尿素が含まれる。

IPC (4件)：

C23F1/28 , C23F1/02 , H05K1/16 , H05K3/06

FI (4件)：

C23F1/28 , C23F1/02 , H05K1/16 C , H05K3/06 M

Fターム (26件)：

4E351BB05 , 4E351BB30 , 4E351DD21 , 4E351DD23 , 4E351DD54 , 4E351FF04 , 4E351FF16 , 4E351GG20 , 4K057WA11 , 4K057WA13 , 4K057WB03 , 4K057WB08 , 4K057WB11 , 4K057WB15 , 4K057WB17 , 4K057WE08 , 4K057WF10 , 4K057WG02 , 4K057WG03 , 4K057WN01 , 5E339BC01 , 5E339BC02 , 5E339BD06 , 5E339BE13 , 5E339BE17 , 5E339GG02

引用特許：

出願人引用 (3件)

US特許2、230、156号
US特許2、687、345号
US特許4,160,691号

審査官引用 (4件)

特開昭58-003984
特開昭57-131367
金属表面に耐酸性を付与する水性溶液
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-049024 出願人：シップレーカンパニーエルエルシー

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