特許
J-GLOBAL ID：200903039492573913
走査型トンネル顕微鏡、走査型原子間力顕微鏡及び類似の測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
春日 讓
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-022871
公開番号（公開出願番号）：特開平5-223519
出願日： 1992年02月07日
公開日（公表日）： 1993年08月31日
要約：
【要約】【目的】 走査型トンネル顕微鏡、走査型原子間力顕微鏡及び類似の測定装置で、入力データに従って、測定条件や制御条件などの諸条件を自動的に設定することにより、熟練した測定者以外の者でも迅速かつ精度の高い測定を行うことを可能とする。【構成】 走査型トンネル顕微鏡等に関し、従来装置の構成に加えて、試料の材質や形状に関連するデータを入力するデータ入力部9、入力されたデータから判断して、走査速度や探針-試料間のバイアス電圧や目標電流値などの測定条件や各種のゲインなどの制御条件やその他の諸条件を判定する条件判定部10、設定された条件を装置の関連する各部に出力する設定条件出力部11から構成される自動条件設定系8を付設する。
請求項（抜粋）：
原子的なレベルの距離間隔で接近された探針と試料の間の相互作用を利用して試料の表面の形状や性質を測定する装置において、入力データに従って、測定条件や制御条件などの諸条件を自動的に設定する機能部を設けたことを特徴とする走査型トンネル顕微鏡、走査型原子間力顕微鏡及び類似の測定装置。
IPC (3件)：
G01B 7/34
, G01B 21/30
, H01J 37/28
