特許
J-GLOBAL ID：200903039524169400
変位発生形アクチュエータ能動振動絶縁装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-324458
公開番号（公開出願番号）：特開2000-136844
出願日： 1998年10月30日
公開日（公表日）： 2000年05月16日
要約：
【要約】【課題】 圧電素子等をアクチュエータとして使用する除振装置の能力を十分に引き出す。【解決手段】 弾性体を介して中間プレートに結合する除振対象を、中間プレートおよび変位発生形アクチュエータを介して設置位置に設置し、変移発生形アクチュエータで中間プレートを駆動する振動絶縁装置において、除振対象から設置位置までの系内における各構成部材の振動を検出し、その検出信号に対して特定の変換を行い、変換した信号により変位発生形アクチュエータを駆動する。
請求項（抜粋）：
弾性体を介して中間プレートに結合する除振対象を、前記中間プレートおよび変位発生形アクチュエータを介して設置位置に設置し、前記変移発生形アクチュエータで前記中間プレートを駆動する振動絶縁装置において、前記中間プレートの絶対速度と、前記除振対象の絶対速度とを検出し、前記各絶対速度の検出信号をそれぞれのPID補償器に入力し、前記各PID補償器の出力の加算信号に基づいて変位発生形アクチュエータを駆動することを特徴とする変位発生形アクチュエータ能動振動絶縁装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
F16F 15/02 A
, H01L 21/30 503 F
3J048AA02
, 3J048AB08
, 3J048AC10
, 3J048BA03
, 3J048BC04
, 3J048DA03
, 3J048EA13
, 5F046AA23
, 5F046DA09
, 5F046DB14
, 5F046DC14
