特許
J-GLOBAL ID：200903039543218390
基板部材保持装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-122311
公開番号（公開出願番号）：特開平8-313816
出願日： 1995年05月22日
公開日（公表日）： 1996年11月29日
要約：
【要約】【目的】本発明は、所定部位上にガラス基板を位置決め状態で確実に保持することができる基板部材保持装置を提供する。【構成】観察部位の吸着パット15上に載置されたガラス基板11を、エアシリンダ16、18の付勢にともなう押し付け部材17、19の押圧により基準部材12、13、14方向に移動させ、これら基準部材12、13、14への押し当てによりガラス基板11の位置決めを行い、また、この位置決め動作に連動して、操作板20に設けた押さえ板25、26を有するエアシリンダ23、24および操作板28に設けた押さえ板33、34を有するエアシリンダ31、32をガラス基板11近傍まで移動させ、エアシリンダ23、24、31、32の付勢にともなう押さえ板25、26、33、34の動作によりガラス基板11の側縁部を押圧する。
請求項（抜粋）：
所定部位に基板部材を位置決め保持する基板部材保持装置において、前記所定部位上の位置基準を表す基準部材と、前記基板部材を前記基準部材に対して移動させるとともに該基準部材により前記基板部材の位置決めを行う基板部材移動手段と、この基板部材移動手段による前記基板部材の位置決めに連動して前記基板部材近傍に配置され該基板部材側縁部を押圧する基板部材押圧手段とを具備したことを特徴とする基板部材保持装置。
IPC (3件)：
G02B 21/26
, G01N 21/84
, H01L 21/68
G02B 21/26
, G01N 21/84 C
, H01L 21/68 G
