特許
J-GLOBAL ID：200903039545535946
ウェーハ研磨装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-194090
公開番号（公開出願番号）：特開2005-032849
出願日： 2003年07月09日
公開日（公表日）： 2005年02月03日
要約：
【課題】本発明は、窓部材と防水窓とが設けられた二重窓構造のものにおいて、ウェーハの研磨終点検出精度を向上させることができるウェーハ研磨装置を提供する。【解決手段】実施の形態の防水窓27は、防水窓27の表面27A及び裏面27Bで反射した有害光が受光側ライトガイド30Bで受光されないように、照射側ライトガイド30Aの光軸31A及び受光側ライトガイド30Bの光軸31Bを含む面33に対し、防水窓27の表面27A及び裏面27Bが相対的に傾斜するように配置されている。これにより、受光側ライトガイド30Bは、ウェーハWの研磨面で反射した光のみ受光するので、ウェーハの研磨終点検出精度が向上する。【選択図】 図4
請求項（抜粋）：
ウェーハ研磨用の研磨パッドが研磨定盤に取り付けられるとともに、研磨定盤及び研磨パッドの一部に貫通孔が形成されて該研磨定盤の貫通孔に透光性の防水窓が設けられ、照射手段から照射された光を前記防水窓を介してウェーハの研磨面に照射し、該研磨面からの反射光を防水窓を介して受光手段により受光するウェーハ研磨装置であって、
前記照射手段から照射され前記防水窓の面で反射した有害光が前記受光手段で受光されないように、前記照射手段及び前記受光手段の各々の光軸を含む面に対し、前記防水窓の面が相対的に傾斜して配置されたことを特徴とするウェーハ研磨装置。
IPC (4件)：
H01L21/304
, B24B37/00
, B24B37/04
, B24B49/12
H01L21/304 622S
, H01L21/304 622F
, B24B37/00 C
, B24B37/04 K
, B24B49/12
3C034AA08
, 3C034AA13
, 3C034BB93
, 3C034CA02
, 3C058AA07
, 3C058AC02
, 3C058CA01
, 3C058CB01
, 3C058DA12
