特許
J-GLOBAL ID：200903039546201472

面位置検出装置及びそれを用いた走査型投影露光装置

発明者：
小杉 祐司

小杉 祐司 について

, 
山田 雄一

山田 雄一 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (1件)： 高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-205901
公開番号（公開出願番号）：特開2000-021768
出願日： 1998年07月06日
公開日（公表日）： 2000年01月21日
要約：
【要約】【課題】 ウエハーを投影光学系の最良結像面に位置させることにより高集積度のデバイスを製造することができる面位置検出装置及びそれを用いた走査型投影露光装置を得ること。【解決手段】 投影光学系の結像面近傍に配置した感光基板に物体面上のパターンを投影光学系を介して該感光基板と該物体とを相対的に走査して投影露光するときの該投影光学系の光軸方向に対する該感光基板のショット領域内の面位置情報を検出する面位置検出装置において、該ショット領域の寸法に応じて走査露光開始位置と走査露光終了位置を両端となる様配置した複数のポイントで面位置情報を検出していること。
請求項（抜粋）：
投影光学系の結像面近傍に配置した感光基板に物体面上のパターンを投影光学系を介して該感光基板と該物体とを相対的に走査して投影露光するときの該投影光学系の光軸方向に対する該感光基板のショット領域内の面位置情報を検出する面位置検出装置において、該ショット領域の寸法に応じて走査露光開始位置と走査露光終了位置を両端となる様配置した複数のポイントで面位置情報を検出していることを特徴とする面位置検出装置。
IPC (2件)：
H01L 21/027 ,  G03F 7/22
FI (3件)：
H01L 21/30 526 B ,  G03F 7/22 H ,  H01L 21/30 518
Fターム (4件)：
5F046BA04 ,  5F046BA05 ,  5F046DA14 ,  5F046DB05
引用特許：
審査官引用 (3件)
  • 固体撮像装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-217884   出願人：松下電子工業株式会社
  • 位置合わせ方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-137913   出願人：株式会社ニコン
  • 走査露光方法及び装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-071230   出願人：株式会社ニコン

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