特許
J-GLOBAL ID：200903039596054195
蒸着用マスクの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
藤島 洋一郎
, 三反崎 泰司
, 長谷部 政男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-206329
公開番号（公開出願番号）：特開2009-041061
出願日： 2007年08月08日
公開日（公表日）： 2009年02月26日
要約：
【課題】微細なパターンで精度良く成膜することが可能な蒸着用マスクの製造方法を提供する。【解決手段】蒸着用マスク1の製造方法は、金属薄膜に、複数の通過孔20A-1をそれぞれ有する複数のパターン領域20Aを設けてマスク本体20を形成する工程と、マスク本体をスクリーンメッシュ30の中央部に取り付けてコンビネーションマスクを形成する工程と、コンビネーションマスクのマスク本体20の周囲に応力緩和領域40を形成したのち、スクリーンメッシュ30を引っ張りつつ、マスク本体20の周縁部を、開口10Aを有する枠体に対して固着させる張設工程とを含むものである。スクリーンメッシュ30を引っ張ることで、マスク本体20に所定の張力が付加され、しわや弛みが生じにくくなる。このとき、スクリーンメッシュ30に応力緩和領域40が形成されていることで、パターン領域20Aにおける歪みの発生が抑制される。【選択図】 図5
請求項（抜粋）：
金属薄膜に、複数の通過孔を配列して少なくとも一つのパターン領域を設けることによりマスク本体を形成する工程と、
前記マスク本体を、伸縮性を有するメッシュ部に取り付けてコンビネーションマスクを形成する工程と、
前記コンビネーションマスクの前記マスク本体の周囲の領域に、応力緩和領域を形成する工程と、
前記コンビネーションマスクに応力緩和領域を形成したのち、そのメッシュ部を引っ張りつつ、前記マスク本体の周縁部を、開口を有する枠体に対して固定させる張設工程と
を含むことを特徴とする蒸着用マスクの製造方法。
IPC (3件)：
C23C 14/24
, H05B 33/10
, H01L 51/50
C23C14/24 G
, H05B33/10
, H05B33/14 A
3K107AA01
, 3K107BB01
, 3K107CC35
, 3K107CC45
, 3K107GG04
, 3K107GG33
, 4K029BA62
, 4K029BB03
, 4K029BD00
, 4K029CA01
, 4K029DB06
, 4K029HA01
