特許
J-GLOBAL ID：200903055320922199
コンビネーションマスクの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-272755
公開番号（公開出願番号）：特開2006-092752
出願日： 2004年09月21日
公開日（公表日）： 2006年04月06日
要約：
【課題】マスク部材単体にしわ・たるみ等が発生し易い場合であっても、製造過程でそのしわ・たるみ等を除去することができ、これにより微細蒸着パターンへの対応を可能にしつつ形成パターンのパターン位置精度を高く保てるようにする。【解決手段】薄膜金属からなるマスク部材4と、紗状のスクリーンメッシュ部材3と、方形状の枠部材2とを備え、前記スクリーンメッシュ部材3を介して前記マスク部材4が前記枠部材2内に張設されるコンビネーションマスクについて、前記スクリーンメッシュ部材3と前記マスク部材4とを仮固定する仮固定工程と、前記マスク部材4が仮固定された後の前記スクリーンメッシュ部材3に張力を与える張設工程と、前記スクリーンメッシュ部材3に張力を与えた後、仮固定されている前記マスク部材4を前記スクリーンメッシュ部材3に本固定する本固定工程と、を経て製造する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
形成パターンに対応した形状の開口が形成された薄膜金属からなるマスク部材と、紗状のスクリーンメッシュ部材と、方形状の枠部材とを備え、前記スクリーンメッシュ部材を介して前記マスク部材が前記枠部材内に張設されるコンビネーションマスクの製造方法であって、
前記スクリーンメッシュ部材の上面または下面に前記マスク部材を配して当該スクリーンメッシュ部材と当該マスク部材とを仮固定する仮固定工程と、
前記マスク部材が仮固定された後の前記スクリーンメッシュ部材に張力を与える張設工程と、
前記枠部材に張設された前記スクリーンメッシュ部材に仮固定されている前記マスク部材を当該スクリーンメッシュ部材に本固定する本固定工程と
を含むことを特徴とするコンビネーションマスクの製造方法。
IPC (5件)：
H05B 33/10
, B41C 1/14
, B41F 15/36
, C23C 14/04
, H01L 51/50
H05B33/10
, B41C1/14
, B41F15/36 A
, C23C14/04 A
, H05B33/14 A
2C035AA06
, 2C035FE01
, 2C035FF01
, 2C035FF06
, 2H084BB08
, 2H084BB10
, 2H084CC10
, 3K007AB18
, 3K007DB03
, 3K007FA01
, 4K029AA09
, 4K029AA24
, 4K029BA62
, 4K029BD00
, 4K029HA02
, 4K029HA03
, 4K029HA04
