特許
J-GLOBAL ID：200903039598577888
表面検査装置、表面検査方法およびフィルムの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-256047
公開番号（公開出願番号）：特開2007-071562
出願日： 2005年09月05日
公開日（公表日）： 2007年03月22日
要約：
【課題】円筒側面形であり鏡面反射性を有する被検査体表面の凸凹欠点を光学的に検出するに際し、光照射手段と撮像手段に対する被検査面の位置関係が経時的に変化することに起因する撮像画像のボケや、被検査体の撮像画像からのはみ出しという問題を解決する。【解決手段】円筒側面形で鏡面反射性を有し曲率および/または被検査面の位置が経時的に変化する被検査体に光を照射する所定形状の発光部位Fを有する光照射手段と被検査体を撮像する撮像手段と撮像した撮像画像に基づいて被検査体の表面を検査する表面検査装置であって、データ処理手段は撮像画像上における発光部位Fの占める範囲の情報に基づいて、撮像画像上における光の位置および/または大きさを算出する被検査体配置算出手段と被検査体配置算出手段の出力に基づいて撮像手段6のズームおよび/またはフォーカスを制御する撮像制御手段を有する撮像調整手段を備えている。【選択図】 図5
請求項（抜粋）：
被検査面が円筒側面形で鏡面反射性を有し、前記被検査面に対応する曲率および/または前記被検査面の位置が経時的に変化する被検査体に光を照射する所定形状の発光部位を有する光照射手段と、前記被検査体を介して前記発光部位を撮像する撮像手段と、前記撮像手段で撮像した撮像画像に基づいて前記被検査体表面を検査するデータ処理手段とを有する表面検査装置であって、前記データ処理手段は、前記撮像画像上における前記発光部位の占める範囲の情報に基づいて、前記撮像画像上における前記光の位置および/または大きさを算出する被検査体配置算出手段と、前記被検査体配置算出手段の出力に基づいて前記撮像手段のズームを制御する撮像制御手段とを有する撮像調整手段を備えていることを特徴とする表面検査装置。
IPC (2件)：
G01N 21/952
, G01N 21/892
G01N21/952
, G01N21/892 A
2G051AA41
, 2G051AA44
, 2G051AB02
, 2G051BA01
, 2G051BB07
, 2G051CA04
, 2G051CB01
, 2G051DA06
, 2G051DA09
, 2G051EA08
, 2G051EA11
, 2G051EA12
, 2G051EC04
