特許
J-GLOBAL ID:200903039603506307
プリント板のエッチング装置およびその方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
窪田 卓美
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-309465
公開番号(公開出願番号):特開2000-119875
出願日: 1998年10月15日
公開日(公表日): 2000年04月25日
要約:
【要約】【課題】 プリント板のエッチングを均一に且つ高精度で行うこと。【解決手段】 定速度でプリント板50を搬送する搬送装置4の上方に、多数の常時スプレーノズル19が分散配置されると共に、搬送方向に直交する方向に所定間隔で複数の制御スプレーノズル22が配置される。そして搬送中のプリント板50の位置は位置検出手段34で検出され、その検出信号は制御装置15に入力される。制御装置15は検出信号に応動して各制御スプレーノズル22のスプレー時期またはスプレー量を制御する。
請求項(抜粋):
定速度でプリント板50を搬送する搬送装置4と、搬送中のプリント板50の上面全体に均一にエッチング液をスプレーするため、搬送装置4の上方に分散配置された多数の常時スプレーノズル19と、搬送中のプリント板50の上面の所定位置に制御されるエッチング液をスプレーするため、搬送装置4の上方において少なくともその幅方向に所定間隔で列状に配置された複数の制御スプレーノズル22と、搬送中のプリント板50の位置を検出する位置検出手段34と、前記位置検出手段34からの位置検出信号に基づき、前記制御スプレーノズル22からプリント板50の上面へのエッチング液のスプレー時期またはスプレー量を制御する制御装置15と、を具備することを特徴とするプリント板のエッチング装置。
IPC (2件):
C23F 1/08 103
, H05K 3/06
FI (3件):
C23F 1/08 103
, H05K 3/06 Q
, H05K 3/06 D
Fターム (15件):
4K057WA11
, 4K057WB04
, 4K057WJ10
, 4K057WM06
, 4K057WM09
, 4K057WM17
, 4K057WM18
, 4K057WN01
, 5E339AD01
, 5E339AD03
, 5E339BC02
, 5E339BE13
, 5E339BE16
, 5E339EE04
, 5E339GG02
引用特許:
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