特許

J-GLOBAL ID：200903039626444686

ウッドパイル型光デバイス用構造体の製造方法および構造体

発明者： 勝山 俊夫 ,  荒川 泰彦 ,  山田 宏治 ,  細見 和彦 ,  深町 俊彦
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  勝山 俊夫 ,  荒川 泰彦 ,  山田 宏治
代理人 (2件)： 小川 勝男 ,  田中 恭助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-074814
公開番号（公開出願番号）：特開2006-259081
出願日： 2005年03月16日
公開日（公表日）： 2006年09月28日
要約：

【課題】従来の3次元フォトニック結晶は、その作製方法が難しく、生産性に乏しく、作製のコストがかかるという欠点があった。【解決手段】従来の3次元フォトニック結晶がロッドを積み重ねるのに代えて、半導体工業において広く用いられている半導体のエッチング技術を用いてロッド間の部分をエッチング技術によって除去して、中空領域を形成して、結果としてロッドを積みねた構造を実現する。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

光デバイス用バルク材に所定の周期で配列された第1の中空領域を複数層エッチングによって形成すること、 前記第1の中空領域の延伸方向と90度延伸方向を異にする所定の周期で配列された第2の中空領域を複数層エッチングによって形成すること、 前記第1の中空領域の層と前記第1の中空領域の層は、それぞれの中空領域の延伸方向と90度異なる方向に交互に積層された形になるように所定の領域に形成されていることを特徴とするウッドパイル型光デバイス用構造体の製造方法。

IPC (3件)：

G02B 6/13 ,  G02B 1/02 ,  G02B 6/12

FI (4件)：

G02B6/12 M ,  G02B1/02 ,  G02B6/12 N ,  G02B6/12 Z

Fターム (20件)：

2H147BF04 ,  2H147BF13 ,  2H147EA05A ,  2H147EA05B ,  2H147EA05C ,  2H147EA12A ,  2H147EA12B ,  2H147EA12C ,  2H147EA13A ,  2H147EA13B ,  2H147EA13C ,  2H147EA25A ,  2H147EA25B ,  2H147FA09 ,  2H147FC03 ,  2H147FC04 ,  2H147FC05 ,  2H147FD20 ,  2H147GA10 ,  2H147GA11

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 異種部材の熱接着方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-006678   出願人：独立行政法人科学技術振興機構