特許

J-GLOBAL ID：200903039633258294

ホットプレートユニット

発明者： 古川 正和 ,  伊藤 康隆 ,  斉藤 譲
出願人/特許権者： イビデン株式会社
代理人 (1件)： 恩田 博宣 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-356425
公開番号（公開出願番号）：特開2001-203064
出願日： 2000年02月10日
公開日（公表日）： 2001年07月27日
要約：

【要約】【課題】 構造の複雑化や大型化を伴うことなく、短時間で冷却しうるホットプレートユニットを提供すること。【解決手段】 このホットプレートユニット1は、ケーシング2の開口部4に、抵抗体10を有するホットプレート3を設置してなる。ケーシング2とホットプレート3とにより、流体を流通可能な空間S1が構成されている。ケーシング2における配線引き出し部7には、シール構造8が設けられている。

請求項（抜粋）：

ケーシングの開口部に、抵抗体を有するホットプレートを設置してなるホットプレートユニットであって、流体を流通可能な空間が前記ケーシングと前記ホットプレートとにより構成されてなり、前記ケーシングにおける配線引き出し部には、シール構造が設けられていることを特徴とするホットプレートユニット。

IPC (4件)：

H05B 3/02 ,  H01L 21/027 ,  H05B 3/20 393 ,  H05B 3/68

FI (4件)：

H05B 3/02 B ,  H05B 3/20 393 ,  H05B 3/68 ,  H01L 21/30 567

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 半導体製造装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-300971   出願人：ソニー株式会社

審査官引用 (1件)

• 半導体製造装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-300971   出願人：ソニー株式会社