特許
J-GLOBAL ID：200903039695199995
静電容量検出型の物理量センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
久保 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-006403
公開番号（公開出願番号）：特開2008-170402
出願日： 2007年01月15日
公開日（公表日）： 2008年07月24日
要約：
【課題】検出電極に発生する不要振動などによる検出精度の低下を抑制すること。【解決手段】ギャップを有して対向する第1の電極11と第2の電極12とのうちのいずれかの電極を外力によって1つの軸方向に移動させることによって第1の電極と第2の電極との対向距離または対向面積を変化させ、これを電極間の静電容量の変化として検出する静電容量検出型の物理量センサ3であって、第1の電極11と第2の電極12のうちのいずれか1方の電極についての1つの軸方向とは垂直な方向に沿った長さが、他方の電極よりも大きく形成されることにより、1方の電極が他方の電極の両側にそれぞれギャップの3倍以上はみ出すように構成される。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
ギャップを有して対向する第1の電極と第2の電極とのうちのいずれかの電極を外力によって1つの軸方向に移動させることによって前記第1の電極と第2の電極との対向距離または対向面積を変化させ、これを電極間の静電容量の変化として検出する静電容量検出型の物理量センサであって、
前記第1の電極と第2の電極のうちのいずれか1方の電極についての前記1つの軸方向とは垂直な方向に沿った長さが、他方の電極よりも大きく形成されることにより、前記1方の電極が前記他方の電極の両側にそれぞれ前記ギャップの3倍程度以上はみ出すように構成されている、
ことを特徴とする静電容量検出型の物理量センサ。
IPC (4件)：
G01C 19/56
, G01P 15/125
, H01L 29/84
, G01P 9/04
G01C19/56
, G01P15/125 Z
, H01L29/84 Z
, G01P9/04
2F105BB03
, 2F105BB13
, 2F105CC04
, 2F105CD03
, 2F105CD05
, 4M112AA02
, 4M112BA07
, 4M112CA21
, 4M112CA24
, 4M112CA26
, 4M112CA31
, 4M112FA20
