特許

J-GLOBAL ID：200903039698996861

雰囲気制御探針走査型顕微鏡

発明者： 粉川 良平
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (1件)： 西岡 義明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-056230
公開番号（公開出願番号）：特開平8-285870
出願日： 1992年02月03日
公開日（公表日）： 1996年11月01日
要約：

【要約】【課題】観察時の試料周辺の雰囲気を任意に制御し、生体試料に関してもそのままの状態で観察することができるようにする。【解決手段】気密に設けられた試料観察室14に、観察室内のガスを排出するガス排出機構(ポンプ40、41等)と、観察室内に不活性ガスを導入するガス導入機構(ガスボンベ49等)とを設ける。

請求項（抜粋）：

a)気密に設けられた試料観察室と、b)試料観察室内で先端が試料の表面の近傍に来るように設けられた探針と、c)探針の先端が試料表面に沿って移動するように探針又は試料を3次元的に駆動する探針移動手段と、d)試料観察室内のガスを排出するガス排出手段と、e)試料観察室内に不活性ガスを導入するガス導入手段とを備え、不活性ガス存在下で試料を観察することを特徴とする探針走査型顕微鏡。

IPC (4件)：

G01N 37/00 ,  G01B 7/34 ,  G01B 21/30 ,  H01J 37/28

FI (4件)：

G01N 37/00 A ,  G01B 7/34 Z ,  G01B 21/30 Z ,  H01J 37/28 Z

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平4-326007
  
• 原子間力顕微鏡装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-232278   出願人：大見忠弘