特許

J-GLOBAL ID：200903039710060133

大面積プラズマ生成用アンテナ

発明者： 木村 憲明
出願人/特許権者： 三井造船株式会社
代理人 (1件)： 小川 信一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-280285
公開番号（公開出願番号）：特開2003-086581
出願日： 2001年09月14日
公開日（公表日）： 2003年03月20日
要約：

【要約】【課題】大面積にわたり高密度且つより均一なプラズマを発生させ、例えば大面積の太陽電池、液晶などの製膜や半導体その他のエッチングなどに適用することのできる大面積プラズマ生成用アンテナを提供する。【解決手段】柱状の導電体からなる複数のアンテナ素子6を、交互に給電方向を逆にして平行的且つ面状に配置したアレイアンテナ2からなり、アンテナ素子6は、いずれも表面を誘電体8で覆ったものである。

請求項（抜粋）：

柱状の導電体からなる複数のアンテナ素子を、交互に給電方向を逆にして平行的に且つ面状に配置したアレイアンテナからなり、前記アンテナ素子は、いずれも表面を誘電体で覆ったことからなる大面積プラズマ生成用アンテナ。

IPC (4件)：

H01L 21/31 ,  C23C 16/509 ,  H01L 21/3065 ,  H05H 1/46

FI (4件)：

H01L 21/31 C ,  C23C 16/509 ,  H05H 1/46 B ,  H01L 21/302 B

Fターム (24件)：

4K030FA03 ,  4K030JA01 ,  4K030KA15 ,  4K030KA30 ,  4K030LA16 ,  5F004AA01 ,  5F004BA20 ,  5F004BB11 ,  5F004BB16 ,  5F004BC08 ,  5F004BD04 ,  5F004DA00 ,  5F004DB02 ,  5F045AC01 ,  5F045AE15 ,  5F045AE17 ,  5F045AE19 ,  5F045BB01 ,  5F045BB08 ,  5F045CA13 ,  5F045CA15 ,  5F045DP11 ,  5F045EH02 ,  5F045EH17

引用特許：

審査官引用 (3件)

• プラズマ処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-291712   出願人：アネルバ株式会社
• 堆積膜形成方法および堆積膜形成装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-166973   出願人：キヤノン株式会社
• プラズマCVD装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-176188   出願人：株式会社リコー