特許
J-GLOBAL ID：200903039710060133

大面積プラズマ生成用アンテナ

発明者：
木村 憲明

木村 憲明 について


出願人/特許権者：
三井造船株式会社

三井造船株式会社 について


代理人 (1件)： 小川 信一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-280285
公開番号（公開出願番号）：特開2003-086581
出願日： 2001年09月14日
公開日（公表日）： 2003年03月20日
要約：
【要約】【課題】大面積にわたり高密度且つより均一なプラズマを発生させ、例えば大面積の太陽電池、液晶などの製膜や半導体その他のエッチングなどに適用することのできる大面積プラズマ生成用アンテナを提供する。【解決手段】柱状の導電体からなる複数のアンテナ素子6を、交互に給電方向を逆にして平行的且つ面状に配置したアレイアンテナ2からなり、アンテナ素子6は、いずれも表面を誘電体8で覆ったものである。
請求項（抜粋）：
柱状の導電体からなる複数のアンテナ素子を、交互に給電方向を逆にして平行的に且つ面状に配置したアレイアンテナからなり、前記アンテナ素子は、いずれも表面を誘電体で覆ったことからなる大面積プラズマ生成用アンテナ。
IPC (4件)：
H01L 21/31 ,  C23C 16/509 ,  H01L 21/3065 ,  H05H 1/46
FI (4件)：
H01L 21/31 C ,  C23C 16/509 ,  H05H 1/46 B ,  H01L 21/302 B
Fターム (24件)：
4K030FA03 ,  4K030JA01 ,  4K030KA15 ,  4K030KA30 ,  4K030LA16 ,  5F004AA01 ,  5F004BA20 ,  5F004BB11 ,  5F004BB16 ,  5F004BC08 ,  5F004BD04 ,  5F004DA00 ,  5F004DB02 ,  5F045AC01 ,  5F045AE15 ,  5F045AE17 ,  5F045AE19 ,  5F045BB01 ,  5F045BB08 ,  5F045CA13 ,  5F045CA15 ,  5F045DP11 ,  5F045EH02 ,  5F045EH17
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (3件)

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