特許
J-GLOBAL ID：200903039719033619
光照射器の循環空冷システム
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大井 正彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-188151
公開番号（公開出願番号）：特開2002-235942
出願日： 2001年06月21日
公開日（公表日）： 2002年08月23日
要約：
【要約】【課題】 クリーンルーム内で使用されるものでありながら、基本的にクリーンエアーを消費することのない光照射器の循環空冷システムを提供すること。【解決手段】 光照射器の循環冷却システムは、クリーンルーム内に設けられる光照射器の空冷システムであって、光照射器から冷却風を排気する排気ブロワと、前記光源ランプの下流位置に設けられた冷却器とよりなり、前記光源ランプを通過して高温となった冷却風が冷却器により冷却された後、循環されて再び光源ランプに供給されることを特徴とする。また、排気ブロワと光照射器との間に排気口または外部排気手段または内部排気手段を設け、光照射器の内圧がクリーンルームの圧力より高くなることを防ぐ。
請求項（抜粋）：
クリーンルーム内に設けられた光照射器を、冷却風を循環させて冷却する、光照射器の循環空冷システムであって、上記光照射器を通過して高温となった冷却風を、該光照射器から排気する排気ブロワと、上記排気ブロワの入口側に設けられ、上記冷却風を冷却する冷却器と、上記冷却器により冷却された冷却風を、上記排気ブロワから上記光照射器に供給する帰還ダクトとを備え、上記光照射器内の圧力が上記クリーンルーム内の圧力以下の大きさとなるように、上記排気ブロワよりの冷却風の一部を上記クリーンルームの外部に排出する外部排気手段を、上記帰還ダクトに設けたことを特徴とする光照射器の循環空冷システム。
IPC (3件)：
F24F 7/06
, F21V 29/00
, F21Y101:00
F24F 7/06 C
, F21V 29/00 Z
, F21Y101:00
3K014AA01
, 3K014MA02
, 3K014MA05
, 3K014MA08
, 3L058BD00
, 3L058BE02
, 3L058BF09
, 3L058BG03
, 3L058BG05
