感光性組成物

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：津軽進 , 宮崎昭彦 , 笛田秀仙
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-566625
公開番号（公開出願番号）：特表2005-517083
出願日： 2003年02月05日
公開日（公表日）： 2005年06月09日
要約：

本発明は、光化学的開始剤と、ポリ酸又はその塩と、アルキレン部分が任意に置換された-(CH2)n-(nは1から3までの整数)又は1,2-シクロヘキシレンであるポリ(3,4-アルキレンジオキシチオフェン)とを有する感光性組成物であって、上記光化学的開始剤が、少なくとも2つのアジド基又はジアゾニウム基を有する水溶性のポリマである感光性組成物に関するものである。上記水溶性のポリマは、pH6以下、より好ましくはpH2以下において化学的に安定である。

請求項（抜粋）：

光化学的開始剤と、ポリ酸又はその塩と、有機導体とを有する感光性組成物であって、前記光化学的開始剤が、少なくとも2つのアジド基又はジアゾニウム基を有する水溶性のポリマであることを特徴とする感光性組成物。

IPC (11件)：

C08G85/00 , C08K5/45 , C08L65/00 , C08L101/02 , G03F7/004 , G03F7/008 , G03F7/016 , H01L21/027 , H01L21/336 , H01L29/786 , H01L51/00

FI (11件)：

C08G85/00 , C08K5/45 , C08L65/00 , C08L101/02 , G03F7/004 501 , G03F7/008 , G03F7/016 , H01L21/30 502R , H01L29/28 , H01L29/78 616K , H01L29/78 616V

Fターム (55件)：

2H025AA19 , 2H025AB17 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025BA03 , 2H025BA08 , 2H025CB13 , 2H025CC09 , 4J002AA031 , 4J002AA073 , 4J002BC121 , 4J002BG011 , 4J002BM002 , 4J002BQ001 , 4J002CE002 , 4J002CM012 , 4J002EV306 , 4J002FD203 , 4J002GQ00 , 4J002GQ05 , 4J031BA28 , 4J031BA29 , 4J031BB01 , 4J031BB02 , 4J031BC07 , 4J031BC12 , 4J031BD22 , 4J031BD26 , 4J031BD30 , 4J031CA67 , 4J031CA69 , 4J031CA83 , 4J031CA86 , 4J031CB09 , 4J031CC02 , 5F110AA05 , 5F110AA26 , 5F110BB01 , 5F110CC03 , 5F110CC05 , 5F110DD01 , 5F110DD02 , 5F110DD12 , 5F110EE01 , 5F110FF01 , 5F110FF27 , 5F110GG05 , 5F110GG28 , 5F110GG29 , 5F110HK01 , 5F110HK32 , 5F110HM04 , 5F110NN02 , 5F110NN27 , 5F110QQ01

引用特許：

審査官引用 (4件)

カラーレジスト及びカラーフィルター
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-198424 出願人：積水フアインケミカル株式会社
着色レジスト及び着色レジスト膜
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-180028 出願人：積水化学工業株式会社
ポリ-3,4-アルケンジオキシチオフェン(PEDOT)およびポリスチレンスルホン酸(PSS)に基づく導電構造
公報種別：公表公報出願番号：特願2001-524167 出願人：コーニンクレッカフィリップスエレクトロニクスエヌヴィ

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