特許

J-GLOBAL ID：200903039733829760

感光性樹脂組成物及びレリーフパターンの製造法

発明者： 萩原 秀雄 ,  鍛治 誠 ,  小島 康則
出願人/特許権者： 日立化成工業株式会社
代理人 (1件)： 若林 邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-088384
公開番号（公開出願番号）：特開平7-092682
出願日： 1994年04月26日
公開日（公表日）： 1995年04月07日
要約：

【要約】【目的】 煩雑な製造工程を必要とせず、塩化物等による汚染もなく、膜特性、耐熱性、接着性、像形成性に優れた感光性樹脂組成物を提供する。【構成】 カルボキシル基及び/又はフェノール性水酸基を有するアルカリ可溶性ポリマ(A)及び光照射によりアミン系化合物を発生する化合物(B)を必須成分とするポジ型感光性樹脂組成物並びにこのポジ型感光性樹脂組成物の塗膜上にパターンを描いたマスク上から活性光線を照射し、照射部を現像除去することを特徴とするレリーフパターンの製造法。

請求項（抜粋）：

カルボキシル基及び/又はフェノール性水酸基を有するアルカリ可溶性ポリマ(A)及び光照射によりアミン系化合物を発生する化合物(B)を必須成分とするポジ型感光性樹脂組成物。

IPC (5件)：

G03F 7/039 501 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/037 501 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/312

FI (2件)：

H01L 21/30 502 R ,  H01L 21/30 569 A

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平4-162040
  
• 特開平2-298947
  
• ポジ型フオトレジスト組成物、感光性絶縁膜およびパタ-ン形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-217332   出願人：日東電工株式会社
• 化学線感応性重合体組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-328032   出願人：東レ株式会社