特許

J-GLOBAL ID：200903039780594542

ラッピングプレートおよびその製造方法

発明者： ▲吉▼冨 靖樹
出願人/特許権者： 住友金属工業株式会社
代理人 (1件)： 深見 久郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-325851
公開番号（公開出願番号）：特開平11-156703
出願日： 1997年11月27日
公開日（公表日）： 1999年06月15日
要約：

【要約】【課題】 高い剛性を有し、表面粗さを小さくすることができ、かつ酸洗浄において表面荒れが起こりにくいラッピングプレートを提供する。【解決手段】 鏡面を形成したときに光学顕微鏡により該鏡面において観察される気孔の密度が1mm2 あたり1000個以下でありかつ平均結晶粒径が3μm〜100μmである焼結組織を有し、かつ純度が99.9%以上であるアルミナ焼結体からなるラッピングプレート。

請求項（抜粋）：

気孔の密度が1mm2 あたり1000個以下でありかつ平均結晶粒径が3μm〜100μmである焼結組織を有し、かつ純度が99.9%以上であるアルミナ焼結体からなることを特徴とする、ラッピングプレート。

IPC (2件)：

B24B 37/04 ,  H01L 21/304 321

FI (2件)：

B24B 37/04 A ,  H01L 21/304 321 E

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 研磨用定盤
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-063876   出願人：京セラ株式会社
• セラミックス焼結体の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-289069   出願人：住友金属工業株式会社