X-Yステージの制御装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：後藤洋介 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-086895
公開番号（公開出願番号）：特開平10-277771
出願日： 1997年04月04日
公開日（公表日）： 1998年10月20日
要約：

【要約】【課題】ストローク内での制御特性の変動を無くし、一様な制御特性、運動精度を確保できるようなX-Yステージの制御装置を提供すること。【解決手段】トッププレートをX軸方向に駆動するXリニアモータ27、Y軸方向に駆動する第1、第2のYリニアモータ23、24をそれぞれ、対応するリニアエンコーダ33、31、32からの位置検出値と対応する位置指令値とに基づいて制御する第1〜第3のフィードバック制御系を備える。各フィードバック制御系はそれぞれ、前記位置検出値と前記位置指令値とにより制御量指令値を作成する位置制御器11、12、13を含み、前記第2、第3のフィードバック制御系にはそれぞれ、前記位置制御器の後段に前記リニアエンコーダ33の位置検出値に応じてゲイン量が決定される補正ゲイン要素14、15を付加した。

請求項（抜粋）：

X軸方向及びY軸方向に駆動可能にされたトッププレートと、前記トッププレートをX軸方向に駆動するXリニアモータと、前記トッププレートをY軸方向に駆動するように互いに平行に構成された第1、第2のYリニアモータと、前記Xリニアモータに設けられて前記トッププレートのX軸方向の位置を検出するためのX軸位置検出器と、前記第1、第2のYリニアモータのそれぞれに設けられて互いに離れた位置で前記トッププレートのY軸方向の位置を検出するための第1、第2のY軸位置検出器と、前記Xリニアモータ、前記第1、第2のYリニアモータをそれぞれ、対応する位置検出器からの位置検出値と対応する位置指令値とに基づいて制御する3つのフィードバック制御系とを備え、前記3つのフィードバック制御系はそれぞれ、前記位置検出値と前記位置指令値とにより制御量指令値を作成する位置制御器を含み、前記第1、第2のYリニアモータの前記フィードバック制御系にはそれぞれ、前記位置制御器の後段に前記X軸位置検出器の位置検出値に応じてゲイン量が決定される補正ゲイン要素を付加したことを特徴とするX-Yステージの制御装置。

IPC (5件)：

B23K 26/08 , B23Q 15/22 , G05D 3/00 , G05D 3/12 , G05D 3/12 305

FI (6件)：

B23K 26/08 D , B23Q 15/22 , G05D 3/00 Q , G05D 3/00 B , G05D 3/12 W , G05D 3/12 305 V

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開昭63-109956
特開昭61-159349
位置制御装置及びその制御方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-339086 出願人：富士通株式会社

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