供給禁止組合せ設定方法、コンピュータプログラムおよび基板処理装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：稲岡耕作 , 川崎実夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-093950
公開番号（公開出願番号）：特開2008-251977
出願日： 2007年03月30日
公開日（公表日）： 2008年10月16日
要約：

【課題】混触に危険を伴う組合せとなる薬液の混触を防止することができ、かつ、そのための設定作業に手間を要しない、供給禁止組合せ設定方法、コンピュータプログラムおよび基板処理装置を提供する。【解決手段】CPU60により、使用薬液メモリ68,69,70から、第1薬液、第2薬液および第3薬液の各薬液名が読み出され、第1薬液、第2薬液および第3薬液の薬液名とバルブ18,19,20,23,25,31との対応関係を表す薬液-バルブ対応テーブルが作成される。そして、薬液-バルブ対応テーブル、および混触に危険を伴う薬液の組合せに関する情報を登録した混触禁止薬液データベースに基づいて、バルブ18,19,20,21,23,25,31,37間での同時開成および相前後する開成を禁止/可能とするバルブの組合せが設定される。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

複数の処理流体キャビネットに接続され、前記処理流体キャビネットから供給される処理流体を基板に供給するための複数の処理流体供給手段と、前記処理流体キャビネットと個々に対応づけて設けられ、それぞれ対応づけられた前記処理流体キャビネットで使用される処理流体に固有の固有情報を記憶する固有情報記憶手段とを備える基板処理装置において、同時または相前後した供給動作を禁止すべき前記処理流体供給手段の組合せを設定するための供給禁止組合せ設定方法であって、前記処理流体キャビネットと個々に対応づけて設けられる各固有情報記憶手段に、その対応づけられた前記処理流体キャビネットで使用される処理流体に固有の固有情報を登録するステップと、混触に危険を伴う処理流体の組合せを記憶した混触危険情報記憶手段を準備するステップと、各前記固有情報記憶手段から固有情報を読み出して、各前記固有情報記憶手段に対応づけられた前記処理流体キャビネットで使用される処理流体の固有情報と、当該処理流体キャビネットに接続されている前記処理流体供給手段とを関連づけて、処理流体-供給手段対応テーブルを作成するステップと、前記混触危険情報記憶手段の内容および前記処理流体-供給手段対応テーブルに基づいて、同時または相前後した供給動作を禁止すべき前記処理流体供給手段の組合せを設定するステップとを含むことを特徴とする、供給禁止組合せ設定方法。

IPC (3件)：

H01L 21/304 , B08B 3/02 , G02F 1/13

FI (3件)：

H01L21/304 648G , B08B3/02 B , G02F1/13 101

Fターム (33件)：

2H088FA17 , 2H088FA30 , 2H088HA01 , 2H088MA20 , 3B201AA02 , 3B201AA03 , 3B201AB34 , 3B201AB42 , 3B201BB05 , 3B201BB22 , 3B201BB42 , 3B201BB62 , 3B201BB93 , 3B201BB96 , 3B201CC01 , 3B201CC13 , 3B201CD41 , 5F157AA16 , 5F157AB02 , 5F157AB12 , 5F157AB33 , 5F157AC01 , 5F157AC13 , 5F157BB14 , 5F157BB42 , 5F157CB01 , 5F157CB12 , 5F157CC02 , 5F157CD36 , 5F157CE33 , 5F157CF14 , 5F157DA01 , 5F157DC01

引用特許：

出願人引用 (1件)

基板処理方法および基板処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-232478 出願人：ソニー株式会社, 大日本スクリーン製造株式会社

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