特許

J-GLOBAL ID：200903039836578588

気化器および成膜装置

発明者： 岩田 輝夫
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 高山 宏志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-321873
公開番号（公開出願番号）：特開2006-135053
出願日： 2004年11月05日
公開日（公表日）： 2006年05月25日
要約：

【課題】 気化器の使用を繰り返しても、気化室内における原料の気化効率を極端に低下させることなく、安定的に原料ガスを供給することが可能な気化器および該気化器を備えた成膜装置を提供する。【解決手段】 気化器30は、気化室32を形成する壁面に、複数の山形突起40が設けられ、それぞれの山形突起40は、気化室32へ向けて突設され、気化ノズル35から噴霧されるミストの流れのうち壁面近傍の流れを遮るように作用する。これにより気化室32の壁面に、気化ノズル35から噴霧されるミストの流れに対して蔭になる領域が形成される。この蔭になる領域には付着物がほとんど付着することないため、熱交換効率の極端な低下が防止され、ミストの気化性能を安定的に維持できる。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

加熱手段を備えた中空容器内に形成された気化室と、 前記気化室に液状原料を噴霧するノズルを備えた噴霧手段と、 前記気化室から、気化されたガスを導出する導出部と、 を備えた気化器であって、 前記気化室の壁面に複数の凸部を設けたことを特徴とする、気化器。

IPC (2件)：

H01L 21/31 ,  C23C 16/448

FI (2件)：

H01L21/31 B ,  C23C16/448

Fターム (25件)：

4K030AA11 ,  4K030BA01 ,  4K030BA10 ,  4K030BA17 ,  4K030BA22 ,  4K030BA42 ,  4K030BA44 ,  4K030CA04 ,  4K030CA12 ,  4K030EA01 ,  4K030KA24 ,  4K030KA25 ,  5F045AA04 ,  5F045AB31 ,  5F045AC00 ,  5F045AC08 ,  5F045AC09 ,  5F045AC15 ,  5F045AC16 ,  5F045AC17 ,  5F045AF01 ,  5F045BB15 ,  5F045DP03 ,  5F045DQ10 ,  5F045EE02

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 気化器及び気化供給方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-151471   出願人：日本パイオニクス株式会社