特許

J-GLOBAL ID：200903039844059999

多波長発振狭帯域レーザ装置

発明者： 若林 理 ,  溝口 計
出願人/特許権者： 株式会社小松製作所 ,  ウシオ電機株式会社
代理人 (1件)： 長澤 俊一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-183346
公開番号（公開出願番号）：特開2007-005538
出願日： 2005年06月23日
公開日（公表日）： 2007年01月11日
要約：

【課題】 出力レーザビーム内に波長分布がなく均一で、複数の発振波長のエネルギ割合は変化せず、露光量の安定性を維持することができる多波長発振狭帯域レーザ装置を提供すること。【解決手段】 狭帯域レーザ共振器の光路中に、ビームスプリッタ7を配置し、その透過光と反射光により、全反射ミラー5、ビームスプリッタ7、レーザチャンバ1及び狭帯域化モジュール4で構成される第1の共振器と、全反射ミラー6、ビームスプリッタ7、レーザチャンバ1及び狭帯域化モジュール4で構成される第2の共振器を構成する。そして、上記共振器によるレーザビームが狭帯域化モジュール4のグレーティング4bに異なった角度で入射するようにし、2以上のレーザビームが異なった発振波長になるように制御する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

少なくとも、波長分散素子を含む狭帯域化手段を有する狭帯域レーザ装置であって レーザ共振器の光路中に、レーザビームのビーム断面全体が入射され、該ビームを分離する少なくとも一つのビームスプリッタを配置して、このビームスプリッタの透過光と、反射光により2以上の共振器を構成し、 上記2以上の共振器による2以上のレーザビームが異なった発振波長になるように、上記波長分散素子への入射回折角を異ならせた ことを特徴とする狭帯域レーザ装置。

IPC (4件)：

H01S 3/08 ,  H01S 3/139 ,  H01L 21/027 ,  G03F 7/20

FI (4件)：

H01S3/08 ,  H01S3/139 ,  H01L21/30 515B ,  G03F7/20 521

Fターム (14件)：

5F046BA03 ,  5F046CA03 ,  5F046DA01 ,  5F172AD06 ,  5F172NN08 ,  5F172NN09 ,  5F172NP04 ,  5F172NQ13 ,  5F172NQ17 ,  5F172NQ44 ,  5F172NQ46 ,  5F172NQ48 ,  5F172ZA02 ,  5F172ZZ02

引用特許：

出願人引用 (7件)

• 特公平5-88531号公報
  
• 特許第2619473号公報
  
• 特許第3325350号公報
  
• 特許第2631554号公報
  
• 波長検出装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-356290   出願人：株式会社小松製作所
• 特許2997956号公報
  
• 米国特許出願公開第2005/0083983号明細書