特許

J-GLOBAL ID：200903039905555498

検査用プローブ、及び該検査用プローブを備えた検査装置

発明者： 白鳥 信夫
出願人/特許権者： 株式会社精研
代理人 (1件)： 近島 一夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-043644
公開番号（公開出願番号）：特開2001-235486
出願日： 2000年02月21日
公開日（公表日）： 2001年08月31日
要約：

【要約】【課題】 高周波電気信号を検出する際における電気信号の減衰を低減する。【解決手段】 検査用プローブA3の探針部1を被検査部品の端子(不図示)に接触させた場合、該探針部1はスプリング部S1の付勢力によって確実に接触される。ここで、スプリング部S1には、外周側から内周側にかけてコイル径が次第に小さくなる渦巻き状のものを用いているため、コイル径が均一なものに比べて全長を短くできる。その結果、スプリング部のインピーダンスを小さくでき、高周波電気信号を検出するに当たっても電気信号の減衰を低減できる。

請求項（抜粋）：

スプリング部の付勢力によって被検査部品の端子に接触されて該端子から電気信号を取り出す検査用プローブにおいて、前記スプリング部が、外周側から内周側にかけてコイル径が次第に小さくなる渦巻き状のスプリングである、ことを特徴とする検査用プローブ。

IPC (3件)：

G01R 1/067 ,  G01R 1/06 ,  H01L 21/66

FI (3件)：

G01R 1/067 C ,  G01R 1/06 A ,  H01L 21/66 B

Fターム (15件)：

2G011AA09 ,  2G011AB01 ,  2G011AB06 ,  2G011AB07 ,  2G011AC14 ,  2G011AC32 ,  2G011AE03 ,  2G011AF07 ,  4M106AA01 ,  4M106AA02 ,  4M106AD26 ,  4M106BA01 ,  4M106CA01 ,  4M106DD03 ,  4M106DD15

引用特許：

審査官引用 (5件)

• スプリングプローブ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-339077   出願人：株式会社東京カソード研究所
• ICソケット
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-066277   出願人：日立電子エンジニアリング株式会社
• 板から成る錐体形蔓巻バネ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-148215   出願人：小島巖, 近藤雅修
• 特開平3-051537
  
• 特開平3-051537