特許
J-GLOBAL ID：200903039926357050

画像特徴抽出装置、画像特徴抽出方法、監視検査システム、半導体露光システム、およびインターフェースシステム

発明者：
野村 仁

野村 仁 について

, 
島 徹

島 徹 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 古谷 史旺 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-355975
公開番号（公開出願番号）：特開2001-175878
出願日： 1999年12月15日
公開日（公表日）： 2001年06月29日
要約：
【要約】【課題】 撮像画像に基づいて被写界を監視する画像特徴抽出装置において、被写界内の物体の特徴を高速かつ簡易に抽出することを目的とする。【解決手段】 被写界を撮像して微分画像信号を生成する。この微分画像信号を行毎に処理して被写界内の左端エッジおよび右端エッジを検出する。検出された左端エッジおよび右端エッジに対して、膨張収縮処理を行って点雑音やかすれ雑音を除去する。このように雑音除去した両端エッジから物体面積や物体位置などの算出値を求め、この算出値から被写界内の異常判定を行う。これらの一連の処理は、1行当たりたかだか2点の両端エッジを対象にした処理である。したがって、画素単位の処理に比べて情報処理量が格段に少なく、高速かつ簡易な処理が実現する。その結果、動画像のリアルタイム監視などに特に好適な画像特徴抽出装置が実現する。
請求項（抜粋）：
被写界を撮像して微分画像信号を生成する微分画像信号生成部と、前記微分画像信号生成部から出力される微分画像信号を行毎に処理し、前記被写界内の左端エッジおよび右端エッジを検出するエッジ座標検出部と、前記エッジ座標検出部で行毎に検出された、左端エッジおよび右端エッジの情報を、被写界内の物体の特徴として保存するエッジ座標記憶部とを備えたことを特徴とする画像特徴抽出装置。
IPC (4件)：
G06T 9/20 ,  G06T 1/00 ,  G06T 7/00 ,  G06T 5/00
FI (4件)：
G06F 15/70 335 Z ,  G06F 15/62 380 ,  G06F 15/62 405 C ,  G06F 15/68 350
Fターム (21件)：
5B057AA03 ,  5B057AA19 ,  5B057CE02 ,  5B057CF02 ,  5B057DA03 ,  5B057DA15 ,  5B057DB02 ,  5B057DC03 ,  5B057DC04 ,  5B057DC06 ,  5B057DC16 ,  5L096BA02 ,  5L096BA03 ,  5L096DA03 ,  5L096EA02 ,  5L096EA05 ,  5L096FA06 ,  5L096FA59 ,  5L096FA62 ,  5L096FA64 ,  5L096GA02
引用特許：
出願人引用 (6件)
全件表示
審査官引用 (8件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM