特許

J-GLOBAL ID：200903039977579790

分割フォトダイオード及び回路内蔵受光素子

発明者： 福永 直樹 ,  瀧本 貴博
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 山本 秀策
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-235670
公開番号（公開出願番号）：特開平10-084102
出願日： 1996年09月05日
公開日（公表日）： 1998年03月31日
要約：

【要約】【課題】 分割フォトダイオードにおいて、光ビームが照射される分割部での光感度を、接合リークの増大や受光面での光反射率の不均一化を招くことなく向上する。【解決手段】 分割フォトダイオード101の反射防止膜110を、分割部Bを含むフォトダイオード領域Pの全面に形成された均一な膜厚のシリコン酸化膜111と、該シリコン酸化膜111の表面上に形成された均一な膜厚のシリコン窒化膜112とからなる積層構造とした。

請求項（抜粋）：

第1導電型半導体領域と、該第1導電型半導体領域の表面部分に選択的に形成された複数の第2導電型半導体層とを備え、該第1導電型半導体領域と該各第2導電型半導体層とにより、信号光を検出してその光電変換信号を出力する光検出部が複数構成されている分割フォトダイオードであって、該第1導電型半導体領域の表面全面に形成された均一な膜厚のシリコン酸化膜と、該シリコン酸化膜上に形成された均一な膜厚のシリコン窒化膜とを有し、該シリコン酸化膜とシリコン窒化膜とにより反射防止膜が構成されている分割フォトダイオード。

IPC (2件)：

H01L 27/14 ,  H01L 31/10

FI (2件)：

H01L 27/14 Z ,  H01L 31/10 A

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 受光素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-162412   出願人：シャープ株式会社
• 光機能性ガラス
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-184864   出願人：住友電気工業株式会社, 日本電信電話株式会社