特許
J-GLOBAL ID：200903039996102962

基板検査装置および基板検査システム並びに基板検査装置の制御方法

発明者：
長 濱 一郎太

長 濱 一郎太 について

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山 崎 裕一郎

山 崎 裕一郎 について

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永 井 隆 光

永 井 隆 光 について

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三 好 元 介

三 好 元 介 について


出願人/特許権者：
株式会社東芝

株式会社東芝 について


代理人 (1件)： 佐藤 一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-070799
公開番号（公開出願番号）：特開2000-268757
出願日： 1999年03月16日
公開日（公表日）： 2000年09月29日
要約：
【要約】【課題】 イオンポンプに起因して発生するノイズ要因を遮断して検査精度の低下を防止する基板検査装置および基板検査システム並びに基板検査装置の制御方法を提供する。【解決手段】 イオンポンプ19,61への排気パイプ29a,29b内に電子光学系28からイオンポンプ19,61へ排気するガス66を通過させる通気孔を有するグリッド電極62,63,68を備え、グリッド電極62へは電源64によりイオンポンプから発生するイオンのポテンシャルエネルギーを超える正電圧を印加し、グリッド電極63へは電源67によりイオンポンプから発生する電子がグリッド電極62を通過した直後のポテンシャルエネルギーを超える負電圧を印加して、それぞれイオン、電子の電子光学系28への進入を遮断する。グリッド電極62,63により発生する浸出し電場は、グリッド電極68を接地して電子光学系28への浸入を遮断する。
請求項（抜粋）：
試料である基板に電子ビームを照射する電子ビーム照射手段と、前記電子ビームの照射を受けて、前記基板から放出される二次電子および反射電子を導いて二次電子ビームとして拡大投影して結像させる写像投影手段とを有する電子光学系と、前記写像投影手段により結像された前記二次電子ビームを検出し、画像信号として出力する電子ビーム検出手段と、前記電子ビーム検出手段から供給される前記画像信号を受けて電子ビーム画像を表示する表示手段と、前記電子光学系内のガスを排気して前記電子光学系の内部を真空状態にするイオンポンプと、前記イオンポンプに起因するノイズ要因を遮断するノイズ要因遮断手段とを備えた基板検査装置。
IPC (5件)：
H01J 37/18 ,  G01B 15/00 ,  G01N 23/225 ,  H01J 37/29 ,  H01L 21/66
FI (5件)：
H01J 37/18 ,  G01B 15/00 B ,  G01N 23/225 ,  H01J 37/29 ,  H01L 21/66
Fターム (35件)：
2F067AA54 ,  2F067BB01 ,  2F067BB04 ,  2F067CC17 ,  2F067EE03 ,  2F067HH06 ,  2F067JJ05 ,  2F067KK04 ,  2F067KK08 ,  2F067LL16 ,  2F067MM04 ,  2F067QQ02 ,  2F067RR30 ,  2F067RR35 ,  2G001AA03 ,  2G001BA07 ,  2G001BA14 ,  2G001CA03 ,  2G001FA16 ,  2G001GA09 ,  2G001HA13 ,  2G001JA02 ,  2G001JA11 ,  2G001JA13 ,  2G001JA14 ,  2G001KA03 ,  2G001LA11 ,  2G001MA05 ,  4M106AA01 ,  4M106BA02 ,  4M106BA03 ,  4M106DB05 ,  4M106DB30 ,  4M106DJ23 ,  5C033KK04
引用特許：
審査官引用 (6件)
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