特許
J-GLOBAL ID：200903040003302838

液送モジュール、液送装置およびその駆動方法

発明者：
松崎 一成

松崎 一成 について

, 
筒井 幸雄

筒井 幸雄 について


出願人/特許権者：
株式会社安川電機

株式会社安川電機 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-099164
公開番号（公開出願番号）：特開2004-309163
出願日： 2003年04月02日
公開日（公表日）： 2004年11月04日
要約：
【課題】液送の流量が大きく、特別なセンサを必要とせずに流量・流速の制御性が高い液送装置を得る。【解決手段】本発明の液送モジュール24は、圧電素子242と、圧電素子に固定され、かつ一方端が自由に振れる振動板241と、圧電素子への電圧供給線25とを備えたものである。また、他の液送モジュールは、金属板の両面にバイモルフ型の圧電板を設けた振動板と、振動板の一方端が固定され、かつ金属板および圧電板に電圧を供給する配線を設けた支持部材とからなるものである。本発明の液送装置は、上記の液送モジュールを基体の流路23に複数設け、液送モジュールの圧電素子に電圧を供給する電源と、電圧を制御する制御装置とにより構成したものである。また、液送モジュールを、互いに作用する方向が逆になるように配置してもよい。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
圧電素子と、前記圧電素子に固定され、かつ一方端が自由に振れる振動板と、前記圧電素子への電圧供給線とを備えたことを特徴とする液送モジュール。
IPC (5件)：
G01N35/08 ,  A61M1/10 ,  F04B43/04 ,  G01N37/00 ,  H02N2/00
FI (5件)：
G01N35/08 A ,  A61M1/10 500 ,  F04B43/04 B ,  G01N37/00 101 ,  H02N2/00
Fターム (14件)：
2G058EA14 ,  2G058FA08 ,  2G058GB10 ,  3H077AA01 ,  3H077CC02 ,  3H077CC09 ,  3H077DD06 ,  3H077EE15 ,  3H077FF07 ,  3H077FF09 ,  3H077FF36 ,  4C077AA04 ,  4C077DD10 ,  4C077EE01
引用特許：
審査官引用 (7件)
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