特許
J-GLOBAL ID：200903040010028288
ポジ型感光性組成物
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-177238
公開番号（公開出願番号）：特開平6-019130
出願日： 1992年07月03日
公開日（公表日）： 1994年01月28日
要約：
【要約】【構成】 アルカリ可溶性樹脂及び、感光剤として下記一般式(I)【化1】(但し、一般式(I)において、R1 ,R2 ,R3 は水素原子、1,2-ナフトキノンジアジド-4-スルホニル基または1,2-ナフトキノンジアジド-5-スルホニル基を表し(但し、R1 ,R2 ,R3 のうち少なくとも1つは水素原子ではない。)、R4 ,R5 ,R6 ,R7 は、水素原子、置換基を有していてもよいC4 以上のアルキル基、置換基を有していてもよいシクロアルキル基、置換基を有していてもよいアリール基、または置換基を有していてもよいアラルキル基を表す(但し、R4 とR5 との少なくとも一方は水素原子ではなく、またR6 とR7 との少なくとも一方は水素原子ではない。)。)で表される化合物を含むことを特徴とするポジ型感光性組成物。【効果】 本発明のポジ型感光性組成物は、可視又は近紫外領域の光を用いてのハーフミクロンリソグラフィーが可能である。
請求項（抜粋）：
アルカリ可溶性樹脂及び感光剤として下記一般式(I)【化1】(但し、一般式(I)において、R1 ,R2 ,R3 は水素原子、1,2-ナフトキノンジアジド-4-スルホニル基または1,2-ナフトキノンジアジド-5-スルホニル基を表し(但し、R1 ,R2 ,R3 のうち少なくとも1つは水素原子ではない。)、R4 ,R5 ,R6 ,R7 は、水素原子、置換基を有していてもよいC4 以上のアルキル基、置換基を有していてもよいシクロアルキル基、置換基を有していてもよいアリール基、または置換基を有していてもよいアラルキル基を表す(但し、R4 とR5 との少なくとも一方は水素原子ではなく、またR6 とR7 との少なくとも一方は水素原子ではない。)。)で表される化合物を含むことを特徴とするポジ型感光性組成物。
IPC (2件)：
引用特許：
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