特許

J-GLOBAL ID：200903040023981774

IC試験装置

発明者： 小林 義仁 ,  中村 浩人 ,  伊藤 明彦 ,  山下 毅 ,  増尾 芳幸 ,  根本 眞
出願人/特許権者： 株式会社アドバンテスト
代理人 (1件)： 草野 卓 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-190855
公開番号（公開出願番号）：特開平9-043309
出願日： 1995年07月26日
公開日（公表日）： 1997年02月14日
要約：

【要約】【課題】 横幅が狭く、小形化されたIC試験装置を提供する。【解決手段】 垂直搬送手段を内蔵した恒温槽101と、この恒温槽に隣接して配置したテストチャンバ102と、テストチャンバに隣接して配置した除熱槽103を横方向に配列し、恒温槽の手前にローダ部300を配置し、テストチャンバの手前及び除熱槽の手前にアンローダ部400を配置して構成し、横幅をテストトレーの約3枚分の寸法に縮小する。

請求項（抜粋）：

ローダ部に送り込まれて停止状態にあるテストトレーに汎用トレーから複数のICを平面状に搭載し、このテストトレーを上記ローダ部に隣接して設けた恒温槽に送り込み、恒温槽内においてICに所望の温度の熱ストレスを与えると共に、恒温槽に隣接して設けられたテストチャンバに上記テストトレーを移動させ、テストチャンバに設けられたテストヘッドに上記テストトレーに搭載したICを順次電気的に接触させてICの動作をテストし、そのテスト結果を各IC毎に記憶し、テストチャンバに隣接して設けた除熱槽に上記テストトレーを移動させ、除熱槽において上記恒温槽で与えた高温又は低温を除熱すると共に、除熱されたテストトレーをアンローダ部に取出し、このアンローダ部において上記テスト結果の記憶に従って上記テストトレーに搭載されたICを分類し、良品と不良品に仕分けして汎用トレーに移し替える構成とされたIC試験装置において、上記恒温槽とテストチャンバ及び除熱槽を一列に配置すると共に、恒温槽の手前にローダ部を配置し、テストチャンバと除熱槽の手前に2つのアンローダ部を配置した構成としたことを特徴とするIC試験装置。

IPC (2件)：

G01R 31/26 ,  H01L 21/68

FI (3件)：

G01R 31/26 Z ,  G01R 31/26 H ,  H01L 21/68 A

引用特許：

出願人引用 (2件)

• オートマチックテストハンドラー
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-349937   出願人：シン-テクシステムズインコーポレイティド, 株式会社アドバンテスト
• 特表平6-503883
  

審査官引用 (2件)

• オートマチックテストハンドラー
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-349937   出願人：シン-テクシステムズインコーポレイティド, 株式会社アドバンテスト
• 特表平6-503883