特許

J-GLOBAL ID：200903040024109744

ペリクルの収納方法及びペリクル収納容器

発明者： 川上 聡
出願人/特許権者： 信越化学工業株式会社
代理人 (1件)： 小島 隆司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-196508
公開番号（公開出願番号）：特開平11-024240
出願日： 1997年07月07日
公開日（公表日）： 1999年01月29日
要約：

【要約】 (修正有)【解決手段】 ペリクル枠2の上端面にペリクル膜4が張設され、下端面に粘着剤層が形成され、かつこの粘着剤層にライナー6が剥離可能に貼着されたペリクルを、底部に上記ペリクルが載置される載置台13が形成された容器本体11と、上記ペリクル枠の上端面に当接する当接部24を有し、この当接部により上記ペリクルを下方に押しつけるように上記容器本体に取り付けられる蓋体21とを具備してなるペリクル収納容器10に収納するに際し、上記載置台の上面とこの上面に当接されるペリクルのライナーとの静止摩擦係数が0.2以上となるように上記載置台の上面及びペリクルのライナーのいずれか一方又は双方を形成するペリクルの収納方法。【効果】 ペリクル収納容器中のペリクルの横ズレ及び発塵が極めて少なくペリクルの清浄性を満足に保持できる。

請求項（抜粋）：

ペリクル枠の上端面にペリクル膜が張設され、下端面に粘着剤層が形成され、かつこの粘着剤層にライナーが剥離可能に貼着されたペリクルを、底部に上記ペリクルが載置される載置台が形成された容器本体と、上記ペリクル枠の上端面に当接する当接部を有し、この当接部により上記ペリクルを下方に押しつけるように上記容器本体に取り付けられる蓋体とを具備してなるペリクル収納容器に収納するに際し、上記載置台の上面とこの上面に当接されるペリクルのライナーとの静止摩擦係数が0.2以上となるように上記載置台の上面及びペリクルのライナーのいずれか一方又は双方を形成することを特徴とするペリクルの収納方法。

IPC (4件)：

G03F 1/14 ,  B65D 85/86 ,  H01L 21/027 ,  B08B 17/02

FI (5件)：

G03F 1/14 M ,  G03F 1/14 J ,  B08B 17/02 ,  B65D 85/38 R ,  H01L 21/30 502 P

引用特許：

審査官引用 (1件)

• ペリクルケース
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-003041   出願人：富士通株式会社