特許
J-GLOBAL ID：200903040047105444
誘導結合プラズマ発光分光分析装置
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (2件)：
工業技術院物質工学工業技術研究所長 (外1名)
, 池浦 敏明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-103609
公開番号（公開出願番号）：特開平11-287760
出願日： 1998年03月31日
公開日（公表日）： 1999年10月19日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 発光強度シグナル及びバックグラウンド強度シグナルの短時間及び長時間の変動までのバックグラウンド補正が可能で、より高感度化、高精度化を図る。【解決手段】 試料を誘導プラズマで励起して発光シグナルを放出させる誘導結合プラズマ発生部と、該誘導結合プラズマ発生部から発光シグナルを取込み、試料中の特定元素の発光強度シグナルを出力させる分光部と、該分光部から出力される発光強度シグナルを検出する測光部とを有する誘導結合プラズマ発光分光分析装置において、該分光部に、1箇所の出口スリットと、この出口スリット(S)に向かう光を、特定元素の発光強度シグナルとバックグラウンドシグナルの2つに分割する分割手段を設け、かつ、該測光部に、前記それぞれのシグナルに対応する2つの検出領域を有する光検出器(L-PM)と、該光検出器の2つの検出領域からの出力を差動して出力させる差動出力手段(DAMP)を設けた。
請求項（抜粋）：
試料を導入するとともに誘導結合プラズマを発生し、試料を誘導プラズマで励起して発光シグナルを放出させる誘導結合プラズマ発生部と、該誘導結合プラズマ発生部から発光シグナルを取込み、試料中の特定元素の発光強度シグナルを出力させる分光部と、該分光部から出力される発光強度シグナルを検出する測光部とを有する誘導結合プラズマ発光分光分析装置において、該分光部に、1箇所の出口スリットと、この出口スリットに向かう光を、特定元素の発光強度シグナルとバックグラウンドシグナルの2つに分割する分割手段を設け、かつ、該測光部に、前記それぞれのシグナルに対応する2つの検出領域を有する光検出器と、該光検出器の2つの検出領域からの出力を差動して出力させる差動出力手段を設けたことを特徴とする誘導結合プラズマ発光分光分析装置。
引用特許：
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