特許
J-GLOBAL ID：200903040076017988
スピンコーター
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
青木 健二 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-038315
公開番号（公開出願番号）：特開2002-239443
出願日： 2001年02月15日
公開日（公表日）： 2002年08月27日
要約：
【要約】【課題】空気やミストの排出をより一層安定にコントロールして効率良く行うことができるようにする。【解決手段】基板2への薄膜形成時にスピンテーブル3が回転すると、羽根11がスピンテーブル3の回転数より減速されてスピンテーブル3の回転と同期回転し、この羽根14の回転によって下方に向く空気流が生じる。この空気流により、スピンカップ6内に流入した空気や余剰コーティング液のミストが強制的にスピンテーブル3上の基板2を回避するようにして羽根14の下方へ流動する。これにより、基板2上に薄膜を形成しつつあるコーティング液Rがこの空気によって影響されるのを抑制でき、形成される薄膜の膜厚をより一層均一にできる。
請求項（抜粋）：
容器内に収容されてコーティング液が塗布される基板を上面に支持する支持テーブルと、この支持テーブルを回転する駆動手段と、前記支持テーブルより下方に設けられて容器内の空気およびミストの少なくとも1つを前記容器の外部に排出させる排出通路とを少なくとも備えているスピンコーターにおいて、前記容器内に設けられ、前記支持テーブルと同期して回転することで前記支持テーブルより下方に向く空気流を発生させる羽根を備えていることを特徴とするスピンコーター。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B05C 11/08
, H01L 21/30 564 C
4F042AA07
, 4F042AA08
, 4F042BA05
, 4F042BA13
, 4F042BA25
, 4F042BA27
, 4F042CC03
, 4F042CC04
, 4F042DE01
, 4F042DE09
, 4F042DF09
, 4F042EB05
, 4F042EB09
, 4F042EB13
, 4F042EB17
, 4F042EB24
, 4F042EB29
, 5F046JA08
, 5F046JA10
, 5F046JA11
