特許
J-GLOBAL ID：200903040078878263
液体噴射ヘッド及び液体噴射装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
栗原 浩之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-192574
公開番号（公開出願番号）：特開2004-034417
出願日： 2002年07月01日
公開日（公表日）： 2004年02月05日
要約：
【課題】振動板の張力に起因するクロストークを防止して均一な特性で液体を噴射することのできる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。【解決手段】ノズル開口に連通する圧力発生室12が画成される流路形成基板10と、流路形成基板10の一方面に振動板を介して設けられ且つ少なくとも下電極60、圧電体層70及び上電極80を有する圧電素子300とを具備する液体噴射ヘッドにおいて、振動板が、圧縮応力を有する少なくとも一層の圧縮膜50と引張り応力を有する少なくとも一層の引張り膜55,60とを有し、圧縮膜50の張力と引張り膜55,60の張力との差が、圧縮膜50又は引張り膜55,60の張力の何れか大きい方の2割以内として、振動板の張力に起因するクロストークを防止する。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
ノズル開口に連通する圧力発生室が画成される流路形成基板と、該流路形成基板の一方面に振動板を介して設けられ且つ少なくとも下電極、圧電体層及び上電極を有する圧電素子とを具備する液体噴射ヘッドにおいて、
前記振動板が、圧縮応力を有する少なくとも一層の圧縮膜と引張り応力を有する少なくとも一層の引張り膜とを有し、前記圧縮膜の張力と前記引張り膜の張力との差が、前記圧縮膜又は前記引張り膜の張力の何れか大きい方の2割以内であることを特徴とする液体噴射ヘッド。
IPC (3件)：
B41J2/045
, B41J2/055
, B41J2/16
B41J3/04 103A
, B41J3/04 103H
2C057AF23
, 2C057AF40
, 2C057AG16
, 2C057AG39
, 2C057AG52
, 2C057AG55
, 2C057AP02
, 2C057AP34
, 2C057AP52
, 2C057AQ02
, 2C057BA03
, 2C057BA14
