特許

J-GLOBAL ID：200903040085221733

スパッタリング装置のマグネトロンカソード電極

発明者： 内山 智雄 ,  小林 司
出願人/特許権者： アネルバ株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 利之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-266611
公開番号（公開出願番号）：特開平10-088339
出願日： 1996年09月18日
公開日（公表日）： 1998年04月07日
要約：

【要約】【課題】 磁石ユニットの往復運動方向におけるエロージョン断面積に関して、長手方向両端部近傍におけるエロージョン断面積が長手方向中央部のエロージョン断面積よりも大きくならないようにして、ターゲットの利用率を改善する。【解決手段】 磁石ユニット50の内側磁石70の上面はS極、外側磁石72の上面はN極である。磁石ユニット50の長手方向の両端付近は、端部を頂点とする三角形となっている。すなわち、外側磁石72は、最大幅を示す位置A1-A1から端部73に向かって幅が小さくなっていき、端部73が三角形の頂点となる。内側磁石70も同様の三角形になっている。そして、この三角形の部分において、外側磁石72の内周面と内側磁石70の外周面との最短距離L2は、磁石ユニットの長手方向中央付近における外側磁石72と内側磁石70との最短距離L1よりも小さくなっている。

請求項（抜粋）：

ターゲットの裏側に配置される磁石組立体と、この磁石組立体をターゲットに対して往復運動させる運動機構とを備える、スパッタリング装置のマグネトロンカソード電極において、次の特徴を備えるマグネトロンカソード電極。(イ)前記磁石組立体は少なくとも一つの磁石ユニットを含む。(ロ)各磁石ユニットはターゲットの表面に環状の細長いエロージョン領域を発生させる。(ハ)各磁石ユニットは、前記エロージョン領域の長手方向に垂直な方向に往復運動できる。(ニ)前記磁石ユニットは、ターゲットに対向する表面側に磁極を有する細長い内側磁石と、ターゲットに対向する表面側に磁極を有していて前記内側磁石を取り囲む外側磁石とを含み、前記内側磁石の磁極と前記外側磁石の磁極は互いに逆極性である。(ホ)前記磁石ユニットの長手方向両端部近傍における往復運動方向の磁石ユニットの幅は、長手方向中央部における磁石ユニットの幅よりも小さい。(ヘ)前記磁石ユニットの長手方向両端部近傍における外側磁石と内側磁石との最短距離は、長手方向中央部における外側磁石と内側磁石との最短距離よりも小さい。

FI (2件)：

C23C 14/35 B ,  C23C 14/35 C

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭53-007586
  
• スパッタリングカソード
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-012984   出願人：アネルバ株式会社