特許
J-GLOBAL ID：200903040099286617
磁気ディスク用基板、磁気ディスク媒体、磁気ディスク媒体製造装置、及び磁気ヘッド
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-275526
公開番号（公開出願番号）：特開平11-120547
出願日： 1997年10月08日
公開日（公表日）： 1999年04月30日
要約：
【要約】【課題】磁気ディスク媒体及び磁気ヘッドの表面粗さと表面硬度を制御し耐摩耗性の向上、低摩擦力化をはかることを目的とする。【解決手段】磁気ディスク用基板表面、磁気ディスク媒体磁性膜表面あるいは保護膜表面、さらに磁気ヘッドのスライダ表面にクラスターイオンを照射することで必要な面粗さと高硬度表面を得る。さらに基板面においてはクラスターイオンの照射により平坦化加工、有機物汚染の除去を行い欠陥の少ない磁気ディスク媒体を作成する。
請求項（抜粋）：
非磁性基板にクラスターイオンビームを照射することにより、非磁性基板表面の有機物汚染の洗浄と非磁性基板の平坦化加工を同時に行ったことを特徴とする磁気ディスク用基板及びその基板を用いた磁気ディスク媒体。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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