特許

J-GLOBAL ID：200903040133333069

ロボット装置及び処理装置

発明者： 東野 秀史
出願人/特許権者： 芝浦メカトロニクス株式会社
代理人 (1件)： 日向寺 雅彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-100850
公開番号（公開出願番号）：特開2002-299413
出願日： 2001年03月30日
公開日（公表日）： 2002年10月11日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 低コストで、確実かつ容易なワークの搬送が可能なロボット装置及びそれを搭載した処理装置を提供すること。【解決手段】 メインアームは、アーム軸2の矢印Aの方向の回転動作に伴い、アーム2Bの先端が矢印Bの方向に平行移動する。この動作により、ポイントP1にあるウェーハ(ワーク)200をアーム2Bの先端のエンドエフェクタEにより、矢印Bの方向に引き抜く。さらにアーム軸が回転動作すると、ウェーハはアーム軸の直上付近まで搬送される。さらにアーム軸が矢印Cの方向に回転動作を続けると、メインアームは矢印Dの方向に反転展開する。そして、矢印Eの方向に回転すると、エンドエフェクタEの上に載置されたウェーハ200は、ポイントP2まで平行に矢印Fの方向に搬送される。これにより、旋回軸を設けることなく、ワークを2点間で搬送できる。

請求項（抜粋）：

回転駆動手段と、前記回転駆動手段に結合された第1のアーム軸と、前記第1のアーム軸に結合され、前記回転駆動手段により回転動作可能な第1のアーム部と、前記第1のアーム部に結合され、前記第1のアーム部とともに屈伸動作する第2のアーム部と、を有するメインアームと、を備え、第1のポイントと第2のポイントとの間に前記第1のアーム軸が配置された状態において、前記回転駆動手段により前記第1のアーム軸を回転することにより前記メインアームが展開して前記第2のアーム部の先端が前記第1のポイントにおいてワークを受け取り、その後、前記回転駆動手段により前記第1のアーム軸が回転することにより前記メインアームが反転展開して前記第2のポイントに前記ワークを搬送することを特徴とするロボット装置。

IPC (4件)：

H01L 21/68 ,  B25J 9/06 ,  B25J 15/08 ,  B65G 49/07

FI (4件)：

H01L 21/68 A ,  B25J 9/06 D ,  B25J 15/08 Z ,  B65G 49/07 C

Fターム (38件)：

3C007AS03 ,  3C007AS24 ,  3C007BS07 ,  3C007CT02 ,  3C007CT04 ,  3C007CV07 ,  3C007CW07 ,  3C007CY36 ,  3C007DS01 ,  3C007ES02 ,  3C007EV05 ,  3C007EW14 ,  3C007HS04 ,  3C007HS27 ,  3C007HT02 ,  3C007HT37 ,  3C007KS17 ,  3C007KS21 ,  3C007MT01 ,  3C007NS09 ,  3C007NS13 ,  5F031CA01 ,  5F031CA02 ,  5F031FA01 ,  5F031FA11 ,  5F031FA14 ,  5F031FA15 ,  5F031GA03 ,  5F031GA08 ,  5F031GA43 ,  5F031GA47 ,  5F031GA48 ,  5F031GA50 ,  5F031LA13 ,  5F031MA23 ,  5F031MA28 ,  5F031MA32 ,  5F031PA26

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 基板処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-326547   出願人：大日本スクリーン製造株式会社
• 搬送アーム装置及びこれを用いた処理室集合装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-314492   出願人：東京エレクトロン株式会社
• 板状体の搬送装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-110421   出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン九州株式会社
• 搬送装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-247720   出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン山梨株式会社
• 基板搬送装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-241239   出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン九州株式会社