特許

J-GLOBAL ID：200903040136119491

リニアモータ及びリニアモータを利用した露光装置

発明者： 畑中 崇宏
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (4件)： 大塚 康徳 ,  高柳 司郎 ,  大塚 康弘 ,  木村 秀二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-056210
公開番号（公開出願番号）：特開2006-246570
出願日： 2005年03月01日
公開日（公表日）： 2006年09月14日
要約：

【課題】 可動子を軽量化し、コイルの発熱を低減することを可能にするリニアモータを提供すること。【解決手段】 主極永久磁石と、主極永久磁石の周囲に磁場を集める補極永久磁石と、を配置した可動子と、主極永久磁石と対向する固定子コイルとを有し、主極永久磁石と固定子コイルとの間で、制御電流に基づく推力を発生させるリニアモータは、固定子コイルと対向する平面に配置される、第1の永久磁石厚さを備える主極永久磁石と、固定子コイルと対向し、主極永久磁石が配置された同一平面に配置される、第2の永久磁石厚さを備える補極永久磁石と、を備え、第1及び第2の永久磁石厚さは、第1の永久磁石厚さ>第2の永久磁石厚さなる関係を満たす。【選択図】 図6

請求項（抜粋）：

主極永久磁石と、当該主極永久磁石の周囲に磁場を集める補極永久磁石と、を配置した可動子と、当該主極永久磁石と対向する固定子コイルとを有し、当該主極永久磁石と固定子コイルとの間で、制御電流に基づく推力を発生させるリニアモータであって、 前記固定子コイルと対向する平面に配置される、第1の永久磁石厚さを備える主極永久磁石と、 前記固定子コイルと対向し、前記主極永久磁石が配置された同一平面に配置される、第2の永久磁石厚さを備える補極永久磁石と、を備え、 前記第1及び第2の永久磁石厚さは、第1の永久磁石厚さ>前記第2の永久磁石厚さ、なる関係を満たすことを特徴とするリニアモータ。

IPC (2件)：

H02K 41/03 ,  H01L 21/027

FI (2件)：

H02K41/03 A ,  H01L21/30 503A

Fターム (12件)：

5F046CC01 ,  5F046CC02 ,  5F046CC17 ,  5H641BB06 ,  5H641BB15 ,  5H641GG02 ,  5H641GG07 ,  5H641HH03 ,  5H641HH05 ,  5H641HH16 ,  5H641HH20 ,  5H641JA07

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 位置決め装置、及びその位置決め装置を利用した露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-123832   出願人：キヤノン株式会社