マルチヘッド走査光学系を持つレーザ描画装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松浦孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-315503
公開番号（公開出願番号）：特開平10-142538
出願日： 1996年11月12日
公開日（公表日）： 1998年05月29日
要約：

【要約】【課題】被描画体に対してレーザビームを主走査方向に偏向させつつ該レーザビームを画像データに基づいて変調させて該被描画体に描画を行うレーザ描画装置において、描画作動有効時間を実質的に100%とする。【解決手段】単一のレーザビーム光源からのレーザビームが2つの光路に振り分けられ、それらレーザビームがそれぞれ被描画体に対して主走査方向に偏向させるために2つのポリゴンミラーが使用される。各ポリゴンミラーの反射面にはレーザビームの主走査方向に沿う偏向を行って描画を行わせる描画有効反射面領域が設定され、双方の描画有効反射面領域での描画作動が連続的に交互に行い得るように双方のポリゴンミラーの回転周期をずらす。

請求項（抜粋）：

被描画体に対してレーザビームを主走査方向に偏向させつつ該レーザビームを画像データに基づいて変調させて該被描画体に描画を行うレーザ描画装置であって、単一のレーザビーム光源と、前記レーザビーム光源からのレーザビームを2つの光路に振り分けるレーザビーム振分け手段と、前記レーザビーム振分け手段によって2つの光路に振り分けられたレーザビームをそれぞれ前記被描画体に対して主走査方向に偏向させるための2つのポリゴンミラーとを具備して成るレーザ描画装置において、前記各ポリゴンミラーのそれぞれの反射面にはレーザビームの主走査方向に沿う偏向を行って描画を行わせる描画有効反射面領域が設定され、一方のポリゴンミラーの描画有効反射面領域での描画作動終了からその描画有効反射面領域に隣接した描画有効反射面領域での描画作動開始に移行する間に他方のポリゴンミラーの描画有効反射面領域での描画作動が行われるように前記双方のポリゴンミラーの回転周期をずらしていることを特徴とするレーザ描画装置。

IPC (3件)：

G02B 26/10 , G02B 26/10 102 , B41J 2/44

FI (3件)：

G02B 26/10 B , G02B 26/10 102 , B41J 3/00 D

引用特許：

審査官引用 (13件)

特開昭61-134724
特開昭61-134724
特開昭61-048528

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