特許
J-GLOBAL ID：200903040209812158

処理装置の異常検知方法

発明者：
坂野 真治

坂野 真治 について

, 
原田 智

原田 智 について


出願人/特許権者：
東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社 について


代理人 (1件)： 小原 肇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-169465
公開番号（公開出願番号）：特開2004-047501
出願日： 2002年06月11日
公開日（公表日）： 2004年02月12日
要約：
【課題】図9に示すように保守点検後の各ウエハの残差得点によって形成されるベースライン▲2▼が保守点検前の各ウエハの残差得点によって形成されるベースライン▲1▼から変動して異常判定ラインLを超え、処理装置のプロセスを異常と判定し、全てのウエハについて本来の異常を検知できない。【解決手段】本発明の処理装置の異常検知方法は、保守点検前の終点検出器19を用いて複数のウエハそれぞれについて検出されるプラズマの発光強度Sを第1の運転データとして得る工程と、これらの第1の運転データの主成分分析を行って残差行列を求める工程と、残差行列の残差成分の二乗和(残差得点)に基づいて処理装置の異常判定ラインLを設定する工程と、保守点検後の検出器を用いて各ウエハそれぞれについて検出される発光強度Sを第2の運転データとして得る工程と、これらの第2の運転データを主成分分析に基づく残差行列を求める工程と、第2の運転データのうち、第1の運転データと比較して残差の変化量の小さい運転データを選択して残差得点を求める工程とを有する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
処理装置を保守点検した後、上記処理装置に付設された各検出器を用いて複数の被処理体毎に検出されるそれぞれの複数の検出値を運転データとして利用して上記処理装置の異常を検知する方法であって、保守点検前に上記各検出器を用いて複数の被処理体それぞれについて検出される上記運転データを第1の運転データとして得る工程と、これらの第1の運転データを用いて多変量解析を行って上記処理装置の保守点検後の運転データの選択基準を設定する工程と、保守点検後の上記各検出器を用いて上記各被処理体それぞれについて検出される上記運転データを第2の運転データとして得る工程と、これらの第2の運転データに上記選択基準に基づいて重み付けをして上記多変量解析に当て填める工程とを有することを特徴とする処理装置の異常検知方法。
IPC (1件)：
H01L21/3065
FI (1件)：
H01L21/302 103
Fターム (11件)：
5F004AA15 ,  5F004BA04 ,  5F004BD04 ,  5F004CB02 ,  5F004CB15 ,  5F004DA00 ,  5F004DA15 ,  5F004DA23 ,  5F004DA25 ,  5F004DA26 ,  5F004DB03
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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